美國(guó)api XD3LS激光干涉儀

激光干涉儀 激光干涉儀介紹：

激光干涉儀 激光干涉儀，以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量。介紹 激光具有高強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。目前常用來(lái)測(cè)量長(zhǎng)度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個(gè)具有干涉作用的測(cè)量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測(cè)量工作，并可作為精密工具機(jī)或測(cè)量?jī)x器的校正工作。分類激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。單頻激光干涉儀從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來(lái)會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí)，干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號(hào)，經(jīng)整形、放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù)，再由電子計(jì)算機(jī)按計(jì)算式[356-11]式中λ為 激光波長(zhǎng)(N 為電脈沖總數(shù))，算出可動(dòng)反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時(shí)，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會(huì)引起直流電平變化而影響測(cè)量結(jié)果。雙頻激光干涉儀 在氦氖激光器上，加上一個(gè)約0.03特斯拉的軸向磁場(chǎng)。由于塞曼分裂效應(yīng)和頻率牽引效應(yīng), 激光器產(chǎn)生1和2兩個(gè)不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經(jīng)1/4波片后成為兩個(gè)互相垂直的線偏振光,再經(jīng)分光鏡分為兩路。一路經(jīng)偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。另一路經(jīng)偏振分光鏡后又分為兩路：一路成為僅含有f1的光束,另一路成為僅含有f2的光束。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí),含有f2的光束經(jīng)可動(dòng)反射鏡反射后成為含有f2 ±Δf的光束，Δf是可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí)因多普勒效應(yīng)產(chǎn)生的附加頻率,正負(fù)號(hào)表示移動(dòng)方向(多普勒效應(yīng)是奧地利人C.J.多普勒提出的，即波的頻率在波源或接受器運(yùn)動(dòng)時(shí)會(huì)產(chǎn)生變化)。這路光束和由固定反射鏡反射回來(lái)僅含有f1的光的光束經(jīng)偏振片2后會(huì)合成為f1-(f2±Δf）的測(cè)量光束。測(cè)量光束和上述參考光束經(jīng)各自的光電轉(zhuǎn)換元件、放大器、整形器后進(jìn)入減法器相減,輸出成為僅含有±Δf的電脈沖信號(hào)。經(jīng)可逆計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù)后，由電子計(jì)算機(jī)進(jìn)行當(dāng)量換算（乘 1/2激光波長(zhǎng)）后即可得出可動(dòng)反射鏡的位移量。雙頻激光干涉儀是應(yīng)用頻率變化來(lái)測(cè)量位移的，這種位移信息載于f1和f2的頻差上，對(duì)由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感，所以抗干擾能力強(qiáng)。它常用于檢定測(cè)長(zhǎng)機(jī)、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、光刻機(jī)和加工中心等的坐標(biāo)精度，也可用作測(cè)長(zhǎng)機(jī)、高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等的測(cè)量系統(tǒng)。利用相應(yīng)附件，還可進(jìn)行高精度直線度測(cè)量、平面度測(cè)量和小角度測(cè)量。

API XD Laser激光干涉儀的組成:
XD Laser激光干涉儀是在LMS激光干涉儀的基礎(chǔ).上進(jìn)行了改進(jìn)。將控制箱集成到激光頭里,將原先的有線數(shù)據(jù)傳輸改為全程無(wú)
線數(shù)據(jù)傳輸。因此、XD Laser激光干涉儀是由激光頭、傳感器、氣象站、筆記本電腦和連接整個(gè)系統(tǒng)的電纜組成。

XD Laser激光干涉儀技術(shù)綜述:
●1D激光主要可以測(cè)量定位誤差
●3D激光可以測(cè)星定位誤差、直線度誤差(雙向)
●5D/6D激光可以測(cè)星定位誤差、直線度誤差(雙向)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角

主要特點(diǎn):
一同時(shí)測(cè)量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角
一設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器
一可選的無(wú)線遙 控傳感器長(zhǎng)的控制距離可到25米
一可測(cè)星速度、 加速度、振動(dòng)等參數(shù),并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性。
-設(shè)計(jì)緊湊、體積小,測(cè)量機(jī)床時(shí)不需三角架
一集成干涉鏡與激光器于一體,簡(jiǎn)化了調(diào)整步驟,減少了調(diào)整時(shí)間

產(chǎn)品特點(diǎn)：
1、XD-3D激光干涉儀有一個(gè)良好緊湊的激光頭(內(nèi)置控制器)。激光頭在測(cè)量安裝上非常方便，用戶可以直接將它安裝在機(jī)床上，靈活的安裝方式給予用戶很大的靈活性。該系統(tǒng)的主要部件有激光頭(包括干涉鏡組、激光控制部件和以太網(wǎng)通信模塊、電源)、環(huán)境傳感器（稱為氣象站）、反射鏡（XD-3D配置）.

2、API干涉儀激光頭、干涉鏡、控制器放在了主機(jī)一體，直接從主機(jī)出光配合反射鏡兩點(diǎn)調(diào)光的測(cè)量，其它廠家，激光頭、干涉鏡，反射鏡分成了三個(gè)部分，在調(diào)整一個(gè)線性上是三點(diǎn)對(duì)光的調(diào)整，*，兩點(diǎn)對(duì)光比三點(diǎn)對(duì)光更方便快捷。

3、XD-3D激光干涉儀一次安裝可以同時(shí)測(cè)量機(jī)床的多個(gè)參數(shù)，相比于傳統(tǒng)的激光干涉儀，測(cè)量中不需要更換鏡組，不要重新調(diào)整光路，大大提高了測(cè)量效率。

4、配垂直度附件的XD-3D系統(tǒng)，只需要兩次安裝，就可以得到兩根被測(cè)軸線各自的線性精度（定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙）、水平方向直線度、垂直方向直線度以及兩軸之間的垂直度共7個(gè)參數(shù)，節(jié)省測(cè)量時(shí)間80%以上。

5、XD-3D激光干涉儀做直線度測(cè)量的時(shí)候，可以同時(shí)測(cè)量被測(cè)導(dǎo)軌水平和豎直兩個(gè)方向的直線度?？梢詫?shí)現(xiàn)準(zhǔn)直儀的功能，利用其可以實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)導(dǎo)軌安裝中直線度（水平和豎直）兩個(gè)方向的實(shí)時(shí)調(diào)整，調(diào)整過(guò)程中不受光路斷光的影響。

XD Laser被來(lái)自世界名地的API用戶用于:
、CMMICNC的校準(zhǔn)、 補(bǔ)償
機(jī)床導(dǎo)軌平行度的測(cè)量
、旋轉(zhuǎn)額的測(cè)量
垂直度的測(cè)量
、對(duì)角線的測(cè)量
、CNC反饋
、機(jī)器人位置反饋: