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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>分析儀器>樣品處理設(shè)備>其它樣品處理設(shè)備>IPS 原子沉積系統(tǒng)ALD

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IPS 原子沉積系統(tǒng)ALD

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 愛譜斯科技(北京)有限公司
  • 品牌 IPS/愛譜斯
  • 型號 IPS
  • 產(chǎn)地 西班牙
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025/2/18 10:09:38
  • 訪問次數(shù) 5966

聯(lián)系方式:陳女士查看聯(lián)系方式

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     IPS愛譜斯于 1961 年在德國成立,是德國半導(dǎo)體恒電位儀的制造商。經(jīng)過短短五年的發(fā)展, IPS愛譜斯就以恒電位/電流儀的制造商為世人所知。 除了開發(fā)電化學(xué)設(shè)備, 我們還提供燃料電池測試系統(tǒng),旋轉(zhuǎn)環(huán)盤電極、氫標準電極,氣體擴散電極,電阻電壓計、零歐電流計、電解池、法拉第屏蔽箱等與電化學(xué)相關(guān)的設(shè)備及配件, 并且為客戶提供完整的電化學(xué)解決方案,針對特殊應(yīng)用提供量身定制的非標設(shè)備!

 

燃料電池測試臺,PEM電解水,電化學(xué)工作站、旋轉(zhuǎn)環(huán)盤電極、氣體擴散電極、電阻電壓計、零歐電流計

應(yīng)用領(lǐng)域 能源,冶金,電氣,綜合

原子沉積系統(tǒng)ALD

標準型(Standard )設(shè)備

價格低、質(zhì)量高、可任選附件進行搭配

結(jié)構(gòu)簡單,操作方便,后期維護簡單易行

用途廣,適合各種基底材料

原子沉積系統(tǒng)ALD ——擴展型(Flexivol)設(shè)備

腔室體積可根據(jù)用戶樣品的尺寸靈活調(diào)節(jié),同一腔室可通過簡單的調(diào)節(jié)適用于不同厚度的樣品

增多前驅(qū)體源入口數(shù)目,避免腔室體積增大對前驅(qū)體化學(xué)源氣氛分布的影響

ALD原子層沉積系統(tǒng)——高度定制化(Non-Standard)設(shè)備

為工業(yè)客戶提供薄膜沉積方案

放大基于標準研究型設(shè)備檢驗的相同技術(shù)

根據(jù)客戶的特殊需求,加工定制,滿足特殊應(yīng)用及大規(guī)模的生產(chǎn)需要

研發(fā)(R&D)服務(wù)

開發(fā)新的薄膜沉積方案

診斷、改進現(xiàn)有ALD的工藝

為潛在的客戶做覆膜演示

薄膜沉積工藝咨詢

原子層沉積系統(tǒng)ALD技術(shù)參數(shù)

不銹鋼材質(zhì)腔室,根據(jù)客戶樣品尺寸有不同的腔室直徑(D < 200 mm, D = 200 mm, D > 200 mm)和高度(H = 20 mm, H = 50 mm)可選;前驅(qū)體進樣系統(tǒng)標配四路(包含冷和熱兩種前軀體),可配至八路

前驅(qū)體進樣系統(tǒng)配有快速氣動閥門

多段溫度控制

前驅(qū)體溫控0-200 °C,精度1 °C

腔室溫控0-300 °C ,精度1 °C

進出腔室管路溫控0-150 °C ,精度1 °C

基本壓強 10^−1/10^−3 mbar

設(shè)備尺寸 1000x600x1000 mm

觸控控制系統(tǒng)

系統(tǒng)當前狀態(tài)信息顯示:氣流速度、溫度、壓力和閥門開度等

工藝監(jiān)控:溫度和壓力等

偏差報警和安全鎖

菜單操作,實時監(jiān)控

可增配選項

等離子體發(fā)生器    借助等離子化的氣態(tài)原子替代水作為氧化物來增強ALD性能

臭氧發(fā)生器         提供強氧化劑,增大ALD生長的前驅(qū)體選擇范圍

石英晶體微天平    在線監(jiān)測薄膜沉積的厚度

愛譜斯中國有限公司是一家專業(yè)儀器制造及銷售公司,公司業(yè)務(wù)主要為進口儀器設(shè)備,涉及化學(xué),材料,環(huán)境,生命科學(xué)等各個學(xué)科。公司始終把客戶的需求與產(chǎn)品質(zhì)量放在*,專業(yè)的售后服務(wù)團隊,歡迎廣大客戶咨詢!

 

 



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