QFR系列 氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)
- 公司名稱 北京瑞邦精控科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) QFR系列
- 產(chǎn)地 中國(guó)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2023/12/1 18:03:49
- 訪問(wèn)次數(shù) 696
氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)氣浮旋轉(zhuǎn)臺(tái)超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)高精度氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)定制轉(zhuǎn)臺(tái)
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
精密氣浮直線臺(tái)，精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)，多軸精密氣浮臺(tái)，精密直驅(qū)直線臺(tái)，多軸精密直驅(qū)直線臺(tái)，精密垂直升降臺(tái)，笛卡爾龍門系統(tǒng)及定制產(chǎn)品。
| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 電動(dòng) |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),電子,航天,電氣,綜合 |
| 軸向跳動(dòng) | 10nm | 徑向跳動(dòng) | 100nm |
| 定位精度 | 1arc?sec |
王背景介紹
QFR系列氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)在極低的外形封裝中提供高定位精度、高速度穩(wěn)定性和納米級(jí)跳動(dòng)。該設(shè)計(jì)滿足生物檢測(cè)、晶圓檢測(cè)、高精度計(jì)量、X射線衍射系統(tǒng)、光學(xué)檢測(cè)和制造以及MEMS/納米技術(shù)設(shè)備制造等行業(yè)。
密封式設(shè)計(jì)
QFR系列進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)，使工作臺(tái)面降到低，這種設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)有效的降低了工作點(diǎn)的高度，大減少因與其他軸疊層引起的阿貝誤差。密封式結(jié)構(gòu)具有高剛度和大負(fù)載承重，不僅有較低的軸向和徑向端跳誤差，而且傾角誤差也比較小，由此產(chǎn)生的面誤差明顯優(yōu)于其它氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)或氣浮主軸，實(shí)現(xiàn)超精密轉(zhuǎn)臺(tái)的應(yīng)用。
非接觸式結(jié)構(gòu)
采用無(wú)齒槽無(wú)刷電機(jī)和氣浮軸承，大限度的提高了定位性能。電機(jī)采用*的磁路設(shè)計(jì)，以小的熱量產(chǎn)生高扭矩輸出，無(wú)齒槽設(shè)計(jì)固有的零齒槽效應(yīng)和扭矩波紋折射，這使得非常適合在低速或高速下平滑快速旋轉(zhuǎn)等應(yīng)用。
高精度性能
采用精密圓光柵反饋，*的驅(qū)動(dòng)控制對(duì)光柵柵距細(xì)分，分辨率達(dá)0.01角秒，軸向跳動(dòng)誤差＜80nm。
定制化設(shè)計(jì)
定制可安裝滑環(huán)，用于空間模擬裝置，MEMS和慣性導(dǎo)航等應(yīng)用。
規(guī)格指標(biāo)
型號(hào) | 單位 | QFR-100 | QFR-200 | QFR-300 | |
行程 | degree | 360 | |||
臺(tái)面直徑 | mm | 88 | 188 | 288 | |
定位精度 | Plus值 | arc sec | ±1 | ||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±2 | ||||
雙向重復(fù)定位精度 | Plus值 | arc sec | ±0.5 | ||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.75 | ||||
軸向跳動(dòng)誤差 | Plus值 | nm | 80 | ||
標(biāo)準(zhǔn)值 | 150 | ||||
徑向跳動(dòng)誤差 | Plus值 | nm | 100 | ||
標(biāo)準(zhǔn)值 | 200 | ||||
擺角誤差 | Plus值 | μrad | 3 | ||
標(biāo)準(zhǔn)值 | 6 | ||||
電子分辨率 | arc sec | 0.01 | |||
速度（空載） | rpm | 300 | |||
負(fù)載 | Kg | 50 | |||
供氣壓力 | Mpa | 0.5±0.05 | |||
采購(gòu)中心
化工儀器網(wǎng)