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德國BUSCH廢氣處理系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 杭州太昊科技有限公司
  • 品牌 Busch/德國普旭
  • 型號
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時間 2024/1/24 13:48:21
  • 訪問次數(shù) 2173

聯(lián)系方式:王建峰查看聯(lián)系方式

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


      杭州太昊科技有限公司是INFICON的授權(quán)代理商,專業(yè)銷售INFICON旗下的真空產(chǎn)品及設(shè)備,同時致力于先進真空技術(shù)的推廣和應(yīng)用,為廣大用戶改進生產(chǎn)工藝,提升競爭力提供產(chǎn)品服務(wù)和技術(shù)支持。

      目前,公司所經(jīng)營的產(chǎn)品主要有三大類: 一、膜厚控制/監(jiān)測系統(tǒng),產(chǎn)品包括膜厚控制儀、膜厚監(jiān)測儀、傳感器探頭、振蕩器及坩堝控制儀等;二、氣體檢漏/分析系統(tǒng),產(chǎn)品有氦質(zhì)譜檢漏儀、冷媒檢漏儀、四極質(zhì)譜儀(即殘余氣體分析儀)及其他類型檢漏儀;三、真空監(jiān)測/控制系統(tǒng),產(chǎn)品主要包括:真空規(guī)、壓強控制儀、質(zhì)量流量計、真空閥門、真空密封件等;產(chǎn)品應(yīng)用覆蓋光電技術(shù)、太陽能薄膜、半導體制造、照明電器、空調(diào)制冷、科研、航天、汽車制造等眾多行業(yè)和領(lǐng)域。公司本著“積極進取、開拓創(chuàng)新”的精神,不斷提升專業(yè)技能、完善運營細節(jié),兢兢業(yè)業(yè)、勤勤懇懇,旨在為廣大用戶提供更好的真空技術(shù)支持和更加完善的售后服務(wù)。

我們的理念是“完善自我,攜手用戶,精誠合作,共同進步”。我們以我們的誠信和服務(wù)贏得用戶的肯定和信任,以客戶的肯定和信任作為我們孜孜以求的動力和目標,期待更多新老朋友來電來函咨詢業(yè)務(wù),洽談合作!







氦質(zhì)譜檢漏儀,冷媒檢漏儀,真空計,膜厚控制儀,流量控制器,氣體分析儀,真空泵及耗材,晶振片

產(chǎn)地類別 進口 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,電子

德國BUSCH廢氣處理系統(tǒng)

普旭真空為半導體、LCD及相關(guān)行業(yè)提供了應(yīng)用廣泛的新一代廢氣處理系統(tǒng)。卓效的廢氣處理技術(shù)提供凈化到閾限值以下的氣體,同時滿足現(xiàn)有的和發(fā)展中的要求。


產(chǎn)品型號

Technology

Model

Capacity(SLM)

Applications

Gas

Flameless Catalytic

(AFC)

AFC 0500A

500

PE-CVD,

HDP-CVD,

ALD(NF3),

AMOLED 6G CVD

Flammable gases,water-soluble gases

AFC 2000A

2000

AMOLED 6G CVD

Wet-Plasma-Wet(APW)

APW 0500A

500

etch for PFCs

Burn-Wet

(ABW)

ABW 0500A

500

CVD,etch for PFCs

Thermal-Wet

(ATW)

ATW 0500A

500

ALD,CVD,DIEF

ATW 1000A

1000

ALD,CVD,DIFF,LCD

ATW 3500A

3500

MO-CVD,EPI,

LCD(7G)

ATW 4000A

4000

MO-CVD,EPI,

LCD(>8G)

Wet(AWE)

AWE 0500A

500

metal etch

water-soluble gases

AWE 0500AE

500

EPI(DCS,TCS)

Semi-Dry

(ASD)

ASD 0800A

800

etch for cost-saving


無焰催化處理技術(shù)(AFC

AFC是結(jié)合了無焰催化熱氧化和濕法處理技術(shù)的高溫催化劑系統(tǒng)。用于 集成到卓效單一系統(tǒng)中,旨在減少易燃,水溶性氣體并使NF3可容納高達3000SLM的高氣流。

技術(shù)特點:

??在半導體應(yīng)用和AMOLED流程中(使用大量生成氣體和NF3的粉末)非常適合CVD工藝(使用NF3作為吹掃氣體)。

??金屬蝕刻應(yīng)用的完備解決方案。

??由于電加熱器和廢氣反應(yīng)熱,催化劑區(qū)域始終保持高溫,而沒有燃燒額外的燃料(LNG)。

??減少NOx生成

??粉末和水溶性氣體被捕獲在多級潤濕區(qū)中

??降低了運行成本

??易于維護和濾芯更換

??觸摸屏顯示


濕法-等離子-濕法處理技術(shù)(APW

APW是一個集成于單一系統(tǒng)的濕法-等離子-濕法處理技術(shù)的組合,是氧化物和多晶硅蝕刻工藝應(yīng)用的理想選擇。

技術(shù)特點:

??創(chuàng)新的濕法等離子分離設(shè)計

??耐用的反應(yīng)堆等離子炬和電源設(shè)計

??具有高氣體DRE(%)的穩(wěn)定性能

??在廢氣進入等離子反應(yīng)器之前,先將副產(chǎn)物和水溶性氣體進行預(yù)濕區(qū)去除

??有效減少CF4,C2F6,SF6等PFCs

??核心零件的使用壽命長和維護周期

??易于清潔和預(yù)防性維護

??觸摸屏顯示


燃燒-濕法處理(ABW

ABW是集成于單一系統(tǒng)中燃燒和濕法處理技術(shù)的組合,旨在有效減少PFCs,是CVD和蝕刻工藝應(yīng)用的理想選擇。

技術(shù)特點:

??創(chuàng)新的快速燃燒濕室分離設(shè)計

??多個安全聯(lián)鎖

??燃燒室?guī)в兴浔跈C制的湍流火焰

??燃燒過程中可能產(chǎn)生的粉末和水溶性氣體被捕獲在多級潤濕區(qū)

??有效減少CF4,C2F6,SF6等PFCs

??性能穩(wěn)定

??運行成本低

??易于清潔和預(yù)防性維護

??觸摸屏顯示

德國BUSCH廢氣處理系統(tǒng)


熱式-濕法處理技術(shù)(ATW

技術(shù)特點:

ATW將電熱和濕法處理技術(shù)結(jié)合在一個系統(tǒng)中,該系統(tǒng)旨在容納高達4000 SLM的總氣流,是重粉生成和腐蝕性應(yīng)用的理想選擇。

??創(chuàng)新的快速熱濕室分離設(shè)計

??多個安全聯(lián)鎖

??兩種減排方法的組合,即熱濕法(通過易燃和發(fā)火性氣體的無焰熱氧化改變工藝氣體的化學性質(zhì))和水溶解(對于水溶性氣體)

??易于清潔和預(yù)防性維護

??觸摸屏顯示


濕法處理技術(shù)(AWE

技術(shù)特點:

AWE濕式洗滌器是適應(yīng)高H2和金屬粉末生成應(yīng)用的理想選擇。

??金屬蝕刻應(yīng)用的完備解決方案

??較高的安全性和正常運行時間

??四個獨立的反應(yīng)室,配備智能入口防止堵塞功能和強大的文丘里管裝置

??內(nèi)置水循環(huán)系統(tǒng)

??降低了運營成本

??觸摸屏顯示




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