JSM-7200F 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡應(yīng)用了日本電子旗艦機(jī)-JSM-7800F Prime采用的浸沒式肖特基電子槍技術(shù)，標(biāo)配了TTLS系統(tǒng)（Through-The-Lens System），因此無論是在高/低加速電壓下，空間分辨率都比傳統(tǒng)機(jī)型有了很大的提升。

• 產(chǎn)品特點

• • JSM-7200F的電子光學(xué)系統(tǒng)應(yīng)用了日本電子旗艦機(jī)-JSM-7800F Prime采用的浸沒式肖特基電子槍技術(shù)，標(biāo)配TTLS系統(tǒng)（Through-The-Lens System），無論是在高/低加速電壓下，空間分辨率都比傳統(tǒng)機(jī)型有了很大的提升。此外，保證300nA的大束流，能兼顧高分辨率觀察和高通量分析，具有充實的自動功能和易用性，是新一代的多功能場發(fā)射掃描電鏡。

  • ＜特點＞

  • JSM-7200F的主要特點有：應(yīng)用了浸沒式肖特基電子槍技術(shù)的電子光學(xué)系統(tǒng)；利用GB（Gentle Beam 模式）和各種檢測器在低加速電壓下能進(jìn)行高分辨觀察和選擇信號的TTLS系統(tǒng)（Through-The-Lens System）；電磁場疊加的混合式物鏡。

  • 浸沒式肖特基電子槍

  • 浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍為日本電子的專技術(shù)，通過對電子槍和低像差聚光鏡進(jìn)行優(yōu)化，能有效利用從電子槍中發(fā)射的電子，即使電子束流很大也能獲得很細(xì)的束斑。因而可以實現(xiàn)高通量分析（EDS、WDS面分析、EBSD分析等）。

  • TTLS（through-the-lens系統(tǒng)）

  • TTLS（through-the-lens系統(tǒng)）是利用GB(Gentle Beam 模式）在低加速電壓下能進(jìn)行高分辨率觀察和信號選擇的系統(tǒng)。 利用GB（Gentle Beam 模式）通過給樣品加以偏壓，對入射電子有減速、對樣品中發(fā)射出的電子有加速作用，即使在低加速電壓（入射電壓）下，也能獲得信噪比良好的高分辨率圖像。 
    此外，利用安裝在TTLS的能量過濾器過濾電壓，可以調(diào)節(jié)二次電子的檢測量。這樣在極低加速電壓的條件下，用高位檢測器（UED）就可以只獲取來自樣品淺表面的大角度背散射電子。因過濾電壓用UED沒有檢測出的低能量電子，可以用高位二次電子檢測器（USD，選配件）檢測出來，因此JSM-7200F能同時獲取二次電子像和背散射電子像。

  • 混合式物鏡（電磁場疊加）

  • JSM-7200F的物鏡采用了本公司新開發(fā)的混合式透鏡。 
    這種混合式透鏡是組合了磁透鏡和靜電透鏡的電磁場疊加型物鏡，比傳統(tǒng)的out-lens像差小，能獲得更高的空間分辨率。 JSM-7200F仍然保持了out-lens的易用性，所以可以觀察和分析磁性材料樣品。

  • 應(yīng)用實例

  • ◇ 利用混合式物鏡、GB（Gentle Beam 模式）進(jìn)行觀察的實例 

  • 利用低像差的混合式物鏡和GB 模式，即使對不導(dǎo)電樣品也能在極低的加速電壓下進(jìn)行高分辨率成像。

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  • 樣品: 介孔二氧化硅 （ 中國上海交通大學(xué)車順愛教授）

  • ◇ 使用高位檢測器（ＵＥＤ）、能量過濾器進(jìn)行觀察的實例

  • 下圖是利用UED在低加速電壓條件下獲得的背散射電子像。由于是大角度散射電子成像，成份信息非常豐富，但加速電壓為0.8kV比在5kV時的測試，能獲得更細(xì)微的淺表面信息。象這樣在極低加速電壓下要獲取樣品淺表面的背散射電子成份像，不僅需要高位檢測器，還需要用來去除二次電子的能量過濾器。

  • 樣品：鍍金表面,   能量過濾器： -250 V  

  • 產(chǎn)品規(guī)格
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    JSM-7200F	JSM-7200FLV
    分辨率	1.0 nm(20kV)，1.6 nm(1kV)	1.0 nm(20kV)，1.6 nm(1kV)，1.8nm (30kV,  LV )
    放大倍率	×10～×1,000,000(120mm x 90mm photograph size); ×30～×3,000,000(1280 x 960pixels display);
    加速電壓	0.01kV～30kV
    束流	1pA～300nA
    自動光闌角佳控制透鏡ACL	內(nèi)置
    大景深模式	內(nèi)置
    檢測器	高位檢測器(UED)、低位檢測器(LED)
    樣品臺	5軸馬達(dá)驅(qū)動樣品臺
    樣品移動范圍	X：70mm  Y：50mm  Z：2mm～41mm 傾斜－5～＋70°  旋轉(zhuǎn)360°
    低真空范圍	-	10pa～300pa

    • 主要選配件

    • 可插拔式背散射電子探頭（RBED）

    • 高位二次電子探頭（USD）

    • 低真空二次電子探頭（LV-SED）

    • 能譜儀（EDS)

    • 波譜儀（WDS）

    • 電子背散射衍射系統(tǒng)（EBSD)

    • 陰極熒光系統(tǒng)（CLD）

    • 樣品臺導(dǎo)航系統(tǒng)（SNS）

    • 電子束曝光系統(tǒng)

JSM-7200F 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡危險化學(xué)品的批發(fā)、零售（在許可證有效期限及核定范圍內(nèi)經(jīng)營）。 第三類、第二類醫(yī)療器械、儀器儀表、化工產(chǎn)品（除危險化學(xué)品）、玻璃制品、五金交電、機(jī)械設(shè)備、一類醫(yī)療器械、消防器材、辦公設(shè)備、文具用品、體育用品、建材、日用品的批發(fā)、零售；教學(xué)儀器的安裝、維修；自營和代理貨物和技術(shù)的進(jìn)出口，但國家限定經(jīng)營或禁止進(jìn)出口的貨物和技術(shù)除外；計算機(jī)軟件開發(fā)，商品信息咨詢；色譜儀器及色譜材料的分析測試服務(wù)；實驗室設(shè)備、儀器儀表安裝、維修、維護(hù)、拆除、搬運，貨物裝卸、搬運服務(wù)以及其他按法律、法規(guī)、*決定等規(guī)定未禁止或無需經(jīng)營許可的項目和未列入地方產(chǎn)業(yè)發(fā)展負(fù)面清單的項目。（依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動）