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Leybold TTR 91N 真空計

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測量原理 1 產(chǎn)地類別 進口
價格區(qū)間 2千-5千 量程 1mbar
應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,農(nóng)林牧漁,文體,能源,包裝/造紙/印刷 真空接口 1

Leybold TTR 91N 真空計

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皮拉尼電阻規(guī)

皮拉尼電阻規(guī)皮拉尼電阻規(guī)

也叫做熱電阻真空計,它是利用電阻與溫度之間關(guān)系的原理工作的。

如右圖所示,由于不同氣壓下氣體分子熱傳導(dǎo)能力不同,當給熱絲加恒定的電流時,由于氣壓不同通過氣體傳導(dǎo)走的熱量不同,熱絲所保持的溫度就不同,這導(dǎo)致熱絲電阻大小不同,通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。

如果配合電橋測量熱絲電阻的變化,將有效提高測量的準確度。

這種規(guī)的測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。

由于不同氣體在相同氣壓時導(dǎo)熱性不同,所以這種規(guī)需要在不同的使用氣體下標定。

熱電偶規(guī)

熱電偶規(guī)熱電偶規(guī)

如右圖所示,熱電偶規(guī)與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致,只是它不用測量熱絲電阻的變化,而是用熱電偶直接測量熱比的溫度變化。

測量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。

與皮拉尼電阻規(guī)一樣,這種規(guī)也需要在不同的使用氣體下標定。

熱陰極電離規(guī)

熱陰極電離規(guī)熱陰極電離規(guī)

如右圖所示,熱陰極電離規(guī)中,由熱陰極即燈絲發(fā)射電子,電離真空中的氣體分子,產(chǎn)生離子,由收集極收集產(chǎn)生的離子,形成離子電流,通過測量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度,進而得到氣壓大小。

這種規(guī)的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa。

經(jīng)改進后的熱陰極電離規(guī),Bayard-Alpert規(guī),可以將測量下限降低至1.0E-09Pa。

由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同,這種規(guī)在使用時也需要在不同氣體下進行標定。

冷陰極電離規(guī)

冷陰極電離規(guī)冷陰極電離規(guī)

如右圖所示,冷陰極電離規(guī)也是通過電離氣體分子收集離子電流的方法進行氣壓測量,但與熱陰極電離規(guī)不同的是,它是利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子。

這種規(guī)的測量范圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa。

與熱陰極電離規(guī)同樣的原因,這種規(guī)在使用時需要在不同氣體下標定。

Leybold TTR 91N 真空計



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