TTR91N.9-30VDC-1.2W.LPS真空計

P+F 6GR6232-3AB00-PF

P+F NBN30-L2-A2-V1

P+F NEB6-12GM50-E2-V1

P+F NRB12-18GS40-E2-V1

P+F IPH-L2-V1

P+F IC-KP2-2HB17-2V1D

P+F IC-KP-B17-AIDA1

OLAER OLMO,75-210

MHA NDRV-DN8-G1/4

MERKLE MBZ160.25/16.77.201.050.OM

MERKLE UZN100.32/25/200.05.201 S.KO.OS.W2

MERKLE UZN100.32/16/300.02.204 SO.O.W1

MERKLE UZN100.40/20/100.02.204 BO.OS

MAHLE PI30016-013NBR

MAHLE PI50010-058NBR

MAHLE PI25010RNSMX25NBR

KROMSCHROE DL3A-3/8444400

Kracht KF40RF2

ifm PA9021

HBM RM4220

EUCHNER NZ1HS-3131-M

EMB RHV35-LR

EMB RHD22-L/5bar

BüHLER NT M-MS-2M12-2K-TT71-2S/370 L=370;L1=150mmf.s.;L2=200mmf.Ö.

BüHLER BLK4.4-50/60HZ

BERARMA 02-PSP3-80-F-H-R-M

Aron VMPE16C3002

Aron AM3UPAB1003

真空計（Vacuum Gauge），又名真空表，是測量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應的變化進行氣壓的測量。在科研和工業(yè)生產中廣泛使用。

簡介

真空計（Vacuum Gauge），又名真空表，是測量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應的變化進行氣壓的測量。在科研和工業(yè)生產中廣泛使用。

分類原理介紹

按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制，可將主要的真空計分為三大類，分別是利用力學性能、利用氣體動力學效應和利用帶電粒子效應的真空計。

利用力學性能的真空計典型的有波爾登規(guī)（Bourdon）和薄膜電容規(guī)；利用氣體動力學效應的典型真空計有皮拉尼（Pirani）電阻規(guī)和熱電偶規(guī)；利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。

波爾登規(guī)

波爾登規(guī)

如右圖所示，細的銅管受氣體壓力不同會有舒展現(xiàn)象，會帶動杠桿和齒輪旋轉，使得指針指示在不同刻度上，即可讀出相應的氣壓值。

這種規(guī)的測量范圍一般在100Pa至1atm。

熱陰極電離規(guī)

熱陰極電離規(guī)

如右圖所示，熱陰極電離規(guī)中，由熱陰極即燈絲發(fā)射電子，電離真空中的氣體分子，產生離子，由收集極收集產生的離子，形成離子電流，通過測量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度，進而得到氣壓大小。

這種規(guī)的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa。

經改進后的熱陰極電離規(guī)，Bayard-Alpert規(guī)，可以將測量下限降低至1.0E-09Pa。

由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同，這種規(guī)在使用時也需要在不同氣體下進行標定。

冷陰極電離規(guī)

冷陰極電離規(guī)

如右圖所示，冷陰極電離規(guī)也是通過電離氣體分子收集離子電流的方法進行氣壓測量，但與熱陰極電離規(guī)不同的是，它是利用磁控放電電離氣體分子產生離子。

這種規(guī)的測量范圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa。

與熱陰極電離規(guī)同樣的原因，這種規(guī)在使用時需要在不同氣體下標定。

如右圖所示，由于不同氣壓下氣體分子熱傳導能力不同，當給熱絲加恒定的電流時，由于氣壓不同通過氣體傳導走的熱量不同，熱絲所保持的溫度就不同，這導致熱絲電阻大小不同，通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。

TTR91N.9-30VDC-1.2W.LPS真空計