美國(guó)RLS激光尺現(xiàn)貨

美國(guó)RLS激光尺術(shù)語(yǔ)表
查找干涉測(cè)量激光尺常用技術(shù)術(shù)語(yǔ)的定義。

Abbé誤差
當(dāng)激光尺軸與工作軸發(fā)生偏置時(shí)產(chǎn)生Abbé誤差。如果平臺(tái)俯仰或扭擺，則工件的運(yùn)動(dòng)與激光尺讀數(shù)不同。對(duì)于偏置d和平臺(tái)俯仰θ，所產(chǎn)生的Abbé偏置誤差為：Abbé誤差 = d × sin θ。

精度
精度是一個(gè)定性術(shù)語(yǔ)，指的是某個(gè)對(duì)象的測(cè)量值與其真實(shí)（目標(biāo)或參考）值之間的一致性.

分光鏡
分光鏡是一種光學(xué)器件，可將一束光分成兩束或更多束。它是大多數(shù)干涉儀系統(tǒng)的關(guān)鍵部件。

補(bǔ)償
調(diào)整激光尺的位置輸出信號(hào)以修正位置誤差的過(guò)程。

相長(zhǎng)干涉
當(dāng)兩束相位和頻率相似的光波相結(jié)合所形成的光束強(qiáng)度比其中任意一束光更加明亮?xí)r，即產(chǎn)生相長(zhǎng)干涉現(xiàn)象。

相消干涉
當(dāng)兩束頻率相似但相位相反的光波相結(jié)合所形成的光束強(qiáng)度低于其中明亮的一束光時(shí)，即產(chǎn)生相消干涉現(xiàn)象。

頻率
頻率是測(cè)量單位時(shí)間內(nèi)某個(gè)重復(fù)事件發(fā)生次數(shù)的物理量。頻率的計(jì)算方式是，測(cè)量某個(gè)事件連續(xù)發(fā)生兩次之間的時(shí)間（周期），然后再通過(guò)計(jì)算該時(shí)間的倒數(shù)得出頻率。該結(jié)果以赫茲 (Hz) 為單位進(jìn)行測(cè)量，f = 1/T。

測(cè)量聲音、電磁波（例如無(wú)線電或光）、電子信號(hào)或其他波的頻率時(shí)，以赫茲為單位的頻率是每秒的重復(fù)波形周期數(shù)。頻率與波長(zhǎng)成反比關(guān)系。頻率f等于波的速度v除以波長(zhǎng)λ (lambda)：f = v/λ。

穩(wěn)頻精度
測(cè)量激光頻率的變化。

非真空環(huán)境
大氣中充滿(mǎn)空氣的三維空間。

干涉
干涉是指兩個(gè)或多個(gè)波疊加，產(chǎn)生新的波形的現(xiàn)象。作為常用的術(shù)語(yǔ)，干涉通常指相關(guān)或相干的波之間由于來(lái)自同一個(gè)來(lái)源或頻率相同或幾乎相同而產(chǎn)生的干涉現(xiàn)象。（另請(qǐng)參閱相長(zhǎng)干涉、相消干涉。）

細(xì)分
細(xì)分是根據(jù)一組離散的已知數(shù)據(jù)點(diǎn)構(gòu)建新的數(shù)據(jù)點(diǎn)的方法。在位置控制中，該術(shù)語(yǔ)通常指采集模擬位置信號(hào)并通過(guò)固定系數(shù)將其細(xì)分為離散數(shù)字信號(hào)。

細(xì)分盒
細(xì)分盒是一種電子裝置，可對(duì)模擬位置信號(hào)進(jìn)行細(xì)分并根據(jù)細(xì)分系數(shù)將其轉(zhuǎn)換為離散的數(shù)字計(jì)數(shù)。例如，周期為158 nm的模擬信號(hào)使用4096細(xì)分盒可產(chǎn)生分辨率為38.6 皮米的信號(hào)。

利薩如圖形
利薩如圖形是顯示正弦和余弦信號(hào)的一種方法。它使用三角代數(shù)將信號(hào)組合成一個(gè)圓形形式。采用*的信號(hào)處理方案，圓上的一個(gè)精確點(diǎn)的數(shù)學(xué)屬性可代表干涉儀運(yùn)行的許多特性，例如信號(hào)強(qiáng)度和在某個(gè)時(shí)間點(diǎn)的位置。

OEM
原始設(shè)備制造商是指制造其他公司終產(chǎn)品所使用的零部件或子系統(tǒng)的公司。

相位
波的相位可將某個(gè)特征的位置與波形另一部分中的相同特征（或在另一波形中的相同特征）相關(guān)聯(lián)。測(cè)量相位關(guān)系，可以是針對(duì)時(shí)間、距離、波長(zhǎng)的一部分或一個(gè)角度來(lái)進(jìn)行。

正交
該術(shù)語(yǔ)用于描述通過(guò)兩條導(dǎo)線傳輸，并靠每個(gè)邊緣變化得到位置信息的數(shù)字串行信號(hào)。相位每間隔90o出現(xiàn)一次邊緣變化，因此4次邊緣轉(zhuǎn)換需要的行程為360o。因此，這被稱(chēng)為正交以表示4個(gè)點(diǎn)。通常被稱(chēng)為AQuadB，表示在輸出信號(hào)時(shí)使用A和B導(dǎo)線。該信號(hào)通常為RS422 AQuadB，是激光尺位置反饋的標(biāo)準(zhǔn)串行協(xié)議。此外，它還可用來(lái)定義在所謂“相位正交”中的正弦和余弦信號(hào)。

折射率
折射率是指光在空氣中的傳播速度與光在某個(gè)既定波長(zhǎng)的折射介質(zhì)中的傳播速度的比值。它表示空氣的傳播特性，與氣溫、相對(duì)濕度和氣壓等條件相關(guān)。

分辨率
激光尺的分辨率是指它可測(cè)量并傳輸?shù)胶线m接收器的小距離增量。

電子細(xì)分誤差 (SDE)
是指通常由利薩如圖形的不圓度引起的非累積誤差。

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真空
真空是一個(gè)部分或全部清除空氣的三維空間。有各種級(jí)別的真空：

粗或低真空 — 1托至1毫托
中真空 — 1毫托至10微托
高真空 — 1微托至10納托
超高真空 — 不超過(guò)1納托
其中：1托 = 133.322帕斯卡1個(gè)大氣壓強(qiáng)（海平面氣壓）= 101.325千帕斯卡 = 760托

波長(zhǎng)
波長(zhǎng)是指某個(gè)波形的重復(fù)單元之間的距離。它通常用希臘字母lambda (λ) 表示。正弦波的波長(zhǎng)為兩個(gè)波峰之間的距離。波長(zhǎng)λ與頻率f（時(shí)間內(nèi)經(jīng)過(guò)某個(gè)點(diǎn)的波峰數(shù)量）成反比關(guān)系。波長(zhǎng)等于波型速度除以波的頻率。