日本Union DH2高精度非接觸深度測量顯微鏡 采用光學和非接觸方法探測焦距的方法，測量不會給樣品造成變形或劃痕等影響，這些往往是采用物理性接觸測量時產(chǎn)生的?；谀繕朔止夥椒ㄔ淼木芫劢怪甘酒鞯膽?yīng)用，以簡單地把兩個目標標志部分重合起來進行高精度的測量..

日本Union DH2高精度非接觸深度測量顯微鏡優(yōu)勢：

 ◎ 高精度的圖像自動聚焦系統(tǒng)的測量結(jié)果和精確度是很可靠的，沒有人為的因素。 

 ◎ 通過電腦控制，可以完成多點的自動連續(xù)測量，高級的資料處理軟體可以*的提高測量時間。 

功能： 非接觸測量微細的撞擊、臺階等。 

 ◎ 通過高精度的光學聚焦點檢測和精確的聚 焦指示器完成高精確的測量

 ◎ 簡單的操作 

 ◎ Z軸測量行程可從幾個μm 到10mm 

 ◎ 同時還可以完成測量點的表面觀察 觀 測 頭： 三目 Z軸測量范圍： 0.1μm 讀數(shù)，10mm 行程 Z軸測量精度： 3σ=1μm (40×) 光學鏡身： 精確的自動聚焦單元 物 鏡： 5× - 100× 測量軟體： 4種模式 資料處理軟體： 顯示大值，小值，平均值，標準偏差值等