化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>薄膜生長(zhǎng)設(shè)備>原子層沉積設(shè)備>PICOSUN ALD 原子層沉積系統(tǒng)
PICOSUN ALD 原子層沉積系統(tǒng)
- 公司名稱(chēng) 北京亞科晨旭科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) PICOSUN ALD
- 產(chǎn)地 芬蘭
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/9/25 13:45:45
- 訪問(wèn)次數(shù) 1668
聯(lián)系方式：紹兵18263262536 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
| 價(jià)格區(qū)間 | 100萬(wàn)-200萬(wàn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子,航天 |
|---|
名稱(chēng)：PICOSUN 原子層沉積系統(tǒng)
產(chǎn)地：芬蘭
Picosun簡(jiǎn)介
Picosun是yi家公司，Picosun的總部位于芬蘭的Espoo，其生產(chǎn)設(shè)施位于芬蘭的Masala（Kirkkonummi）。PICOSUN®ALD設(shè)備專(zhuān)為高產(chǎn)量和高產(chǎn)量而設(shè)計(jì)，并且不斷發(fā)展以提高效率。Picosun適應(yīng)性強(qiáng)其客戶(hù)包括 大的電子制造商，小型的創(chuàng)新型挑戰(zhàn)者以及的大學(xué)。 Picosun的組織機(jī)構(gòu)和種類(lèi)繁多的ALD解決方案都可以滿(mǎn)足每個(gè)客戶(hù)的需求。PICOSUN®研發(fā)工具具有*的內(nèi)置可擴(kuò)展性，可確保將研究結(jié)果平穩(wěn)過(guò)渡到大批量工業(yè)制造中，而不會(huì)出現(xiàn)技術(shù)差距。Picosun的熱情在于創(chuàng)新。當(dāng)您想與設(shè)備制造商共同創(chuàng)建定制的ALD解決方案，從而引ling行業(yè)發(fā)展時(shí)，Picosun是您的合作伙伴。
PICOSUN™ P系列量產(chǎn)ALD系統(tǒng)定義了高產(chǎn)量ALD的新時(shí)代。我們?nèi)詣?dòng)化、真空集群與產(chǎn)線兼容的P系列ALD確保了大的產(chǎn)出效率，并且具有的工藝純度和薄膜均勻性，甚至能*具有嚴(yán)格要求的半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。PICOSUN™ P系列ALD高效緊湊的設(shè)計(jì)節(jié)約了昂貴的場(chǎng)地成本，系統(tǒng)的易維護(hù)性減少了停工期。對(duì)于系統(tǒng)的維護(hù)、工藝故障的排除，我們?yōu)榭蛻?hù)提供專(zhuān)業(yè)的售后服務(wù)Picosupport™。根據(jù)用戶(hù)的需求，確保每時(shí)每（24/7/365）快速提供全面的解決方案。在購(gòu)買(mǎi)之前，我們提供做樣服務(wù)，確保系統(tǒng)具有好的性能，*您的需求。
PICOSUN 原子層沉積系統(tǒng)技術(shù)指標(biāo)
| 襯底尺寸和類(lèi)型 | 50 – 200 mm /單片 |
| 156 mm x 156 mm 太陽(yáng)能硅片 | |
| 150 mm x 150 mm 顯示面板 | |
| 工藝溫度 | 50 - 500 °C , 可選更高溫度 |
| 基片傳送選件 | 氣動(dòng)升降（手動(dòng)裝載） |
| 半自動(dòng)裝載，用PICOPLATFORM™200集群系統(tǒng)實(shí)現(xiàn) | |
| 25片晶圓盒對(duì)盒式全自動(dòng)裝載（cassette-to-cassette），用PICOPLATFORM™200集群系統(tǒng)實(shí)現(xiàn) | |
| 標(biāo)準(zhǔn) | SEMI S2 認(rèn)證（認(rèn)證中） |
| 前驅(qū)體 | 液態(tài), 固態(tài), 氣態(tài), 臭氧源, 等離子體（多4路氣體）： |
| 前驅(qū)源余量傳感器，并提供清洗和裝源服務(wù) | |
| 6根獨(dú)立源管線，多加載12個(gè)前驅(qū)體源（加上Plasma管路，共7根獨(dú)立源管線） | |
| 重量 | 790 kg |
| 尺寸 (W x H x D) | 160 cm x 80 cm x 240 cm |
| 可選件 | 集群工具, PICOFLOW™ 擴(kuò)散增強(qiáng)器, 集成橢偏儀, QCM, RGA, N2發(fā)生器，尾氣處理器，定制設(shè)計(jì)，與 工廠軟件連接服務(wù)。 |
| 驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn) | 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)為 Al2O3 工藝， |
| 其他工藝可具體協(xié)商：其他工藝、應(yīng)用具體驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)如： | |
| --不均勻性 | |
| --顆粒物含量 | |
| --重金屬污染 | |
| --電學(xué)性能 |
PICOSUN原子層沉積系統(tǒng)ALD R-200 Pro（圖例）
應(yīng)用領(lǐng)域
PICOSUN™ 200mm 生產(chǎn)線上的產(chǎn)品是200mm以下晶圓的自動(dòng)化、高產(chǎn)量的工業(yè)ALD加工設(shè)備。包括PICOSUN™ P系列Pro ALD設(shè)備。該工具可以獨(dú)立工作，也可以集成到PICOPLATFORM™200真空集群系統(tǒng)以達(dá)到更高的產(chǎn)量和自動(dòng)化水平。為了節(jié)約昂貴的設(shè)施空間，所有PICOSUN™的ALD系統(tǒng)有著緊湊，高效的設(shè)計(jì)。集成的專(zhuān)業(yè)機(jī)柜，裝載著前驅(qū)體和電子元件，保證了快速簡(jiǎn)便的維護(hù)和短的停機(jī)時(shí)間。PICOSUN™ P系列Pro工具保證了大產(chǎn)能以及節(jié)約成本的情況下得到的ALD工藝質(zhì)量，并履行嚴(yán)格的現(xiàn)代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)力和安全要求。
采購(gòu)中心
化工儀器網(wǎng)