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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>工業(yè)在線及過程控制儀>流量計流速儀/測漏儀>質量流量計> CS200H質量流量控制器

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CS200H質量流量控制器

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 北京華丞電子有限公司
  • 品牌 七星華創(chuàng)
  • 型號
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2020/6/20 11:00:05
  • 訪問次數(shù) 6089
產(chǎn)品標簽

質量流量流量計

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北京華丞電子有限公司(以下簡稱“華丞電子”)是由北京七星華創(chuàng)流量計有限公司、北京七星華創(chuàng)集成電路裝備有限公司及北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司射頻業(yè)務單元整合而成的工業(yè)領域核心零部件及解決方案科技企業(yè),華丞電子立足于集成電路、新能源等工業(yè)領域的科技前沿,集聚了多項先進零部件技術核心人才,致力于成為一家全面的工業(yè)零部件解決方案供應商。


 華丞電子傳承了數(shù)十年在流量測控、射頻技術和自動化設備等領域的專業(yè)優(yōu)勢,技術積和創(chuàng)新能力。產(chǎn)品迭代升級的同時,華丞電子依據(jù)客戶新的產(chǎn)品需求不斷探索研究,深挖技術,創(chuàng)新產(chǎn)品,拓寬產(chǎn)品線,形成了流量測控、壓力測控、氣路系統(tǒng)、射頻電源、匹配器、磁流體密封裝置、傳輸系統(tǒng)、自動化裝備等系列產(chǎn)品,為半導體、光伏、燃料電池、真空鍍膜等領域提供解決方案。華丞電子布局六大研發(fā)/生產(chǎn)基地,營銷服務體系覆蓋歐、美、亞等全球主要國家和地區(qū)。

  在新的征程上,北京華丞電子有限公司將攜手所有合作伙伴,共同開創(chuàng)電子科技領域的新篇章,為構建智慧社會貢獻我們的力量。

 

 

 

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氣體質量流量計、數(shù)字氣體流量計、氨氣流量控制器、氧氣流量計、質量流量控制器

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 產(chǎn)品種類 質量式
價格區(qū)間 面議 介質分類 氣體
應用領域 綜合

CS200H質量流量控制器是七星流量計生產(chǎn)的數(shù)字型高溫產(chǎn)品,其電氣和機械部分采用分體式的設計,通過高溫線纜連接,可以實現(xiàn)在高溫環(huán)境下工作,能夠滿足復雜多變的半導體測量需求。

 

優(yōu)勢

• 控制器工作溫度:90~120℃。
• 高控制精度:產(chǎn)品精度可達±1.0% S.P.(≥35%F.S.)。
• 快速響應,響應時間≤ 0.8sec。
• 采用恒功率傳感器原理,在溫度變化時進行相應的補償,從根本上抑制了流量計的零漂現(xiàn)象,保證了傳感器線性。
• 產(chǎn)品采用專門的金屬表面處理技術,與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV,CS200產(chǎn)品金屬表面粗糙度更可達10RA以下,嚴格按照SEMI標準生產(chǎn)制造。
• 支持±8V~±16V雙電源, +14V~+28V單電源供電;數(shù)字,模擬輸入輸出。
• 產(chǎn)品尺寸符合通用的SEMI標準,RS485,DeviceNet通訊方式。

CS200H質量流量控制器技術參數(shù)

CS200

型號

CS200-H

閥類型

常閉

流量規(guī)格(N2)

(0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM
(0~1,2,3,5,10,20,30)  SLM

準確度

±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
±0.35% F.S.(<35% F.S.)

線性

±0.5% F.S.

重復精度

±0.2% F.S.

響應時間

≤ 1sec

工作壓差范圍

0.05~0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM
0.1~0.35MPa 流量規(guī)格>10SLM

<0.02 MPa

大工作壓力

0.45MPa

溫度系數(shù)

零點: ≤±0.1% F.S./℃;調節(jié)時: ≤±0.1% F.S./℃

耐壓強度

3MPa

漏率

1×10-11 Pa·m3 / sec He

密封材料

金屬密封

工作環(huán)境溫度

質量流量控制器/流量計:(90~120)℃;控制盒:(0~50)℃

輸入信號

數(shù)字: RS485 或 DeviceNet
模擬:(0~5)VDC或(4~20)mA

輸出信號

數(shù)字:RS485或 DeviceNet  
模擬:(0~5)VDC或(4~20)mA

零漂

在沒有零點校正時<0.6%F.S./年

電源

±8 ~ ±16 VDC (雙極)或 +14 ~ +28 VDC (單極)

表面化學成分

Cr/Fe比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥20 (埃)

表面粗糙度

10 Ra

標準接頭形式

雙卡套φ6;雙卡套1/4;VCR1/4陽接頭;1.5´´C型密封接頭
1.5´´ W型密封接頭

電源接頭形式

D型9針陽接頭;D型15針陽接頭;DeviceNet接頭

連接高溫電纜

2m

重量

1.2Kg

1Kg

 



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