GT1180D質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。典型應(yīng)用場合有微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀以及其他分析儀器。

技術(shù)特點(diǎn)

• 微處理器控制

GT1180D質(zhì)量流量控制器器內(nèi)部采用可編程未處理器控制，使用PID控制，可實(shí)現(xiàn)不同工況條件下進(jìn)行高速精確的流量控制。

• RS-484總線接口

質(zhì)量流量控制器內(nèi)置RS-485總線接口，可選擇使用RS-485串口控制或按鍵控制兩種模式。可通過RS-485總線組網(wǎng)，實(shí)現(xiàn)多臺MFC同時(shí)控制。

• 標(biāo)定方法

質(zhì)量流量控制器執(zhí)行JJG 1132-2017國家標(biāo)準(zhǔn)，所有產(chǎn)品均采用特定高純氣體標(biāo)定，確保產(chǎn)品的精度。

可通過標(biāo)定軟件對氣體質(zhì)量流量控制器進(jìn)行標(biāo)定，只需將MFC通過RS-485總線與PC連接即可進(jìn)行標(biāo)定。

• 緊湊的外形尺寸

質(zhì)量流量控制器尺寸非常小巧緊湊，用戶使用時(shí)，不但能夠減小系統(tǒng)體積和重量，同時(shí)能夠集成更多的功能模塊。

• 多氣體多量程選擇

質(zhì)量流量控制器內(nèi)部設(shè)置了多種氣體模式（H2、N2、Air、Ar、He等），用戶可根據(jù)用戶手冊及使用需求進(jìn)行操作選擇。同時(shí)，本公司提供擇不同量程MFC產(chǎn)品，用戶可根據(jù)需求進(jìn)行選。

技術(shù)指標(biāo)