新型肖特基場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SU7000－可獲得樣品的各種信息，實(shí)現(xiàn)高通量分析－

新型肖特基場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SU7000，它縮短了通過采集多種信號(hào)獲取樣品多種信息的時(shí)間，真正實(shí)現(xiàn)了高通量的觀察與分析。

 
    掃描電子顯微鏡（SEM）可通過檢測(cè)樣品激發(fā)出的二次電子、背散射電子、X射線等信號(hào)，獲得從微細(xì)結(jié)構(gòu)到組成成分等各種信息，因此被廣泛應(yīng)用于納米技術(shù)、半導(dǎo)體、電子器件、生物、材料等諸多領(lǐng)域。隨著SEM的應(yīng)用范圍在不斷擴(kuò)大，對(duì)觀察時(shí)間的縮短、信號(hào)的迅速高效采集提出了更進(jìn)一步的需求。
   SU7000采用全新設(shè)計(jì)的探測(cè)器，使得對(duì)二次電子信號(hào)、背散射電子信號(hào)的檢測(cè)以及分離能力大大提升。以前我們要根據(jù)獲得的信號(hào)來調(diào)整樣品與透鏡之間的距離（工作距離／以下簡(jiǎn)稱WD），以設(shè)置佳的觀察與分析條件，而SU7000通過新研發(fā)的樣品倉(cāng)以及檢測(cè)器系統(tǒng)，可在不改變WD的條件下更高效地接收各種信號(hào)，縮短了樣品觀察和分析的時(shí)間，提高了測(cè)試效率。
    而且，SU7000還配置了可同時(shí)6通道顯示界面（前代機(jī)型只能同時(shí)顯示4通道），進(jìn)一步升級(jí)SEM控制系統(tǒng)，大幅提高了信號(hào)獲取速度，由此實(shí)現(xiàn)了樣品的高通量觀察。
    它還標(biāo)配超大樣品倉(cāng)，增設(shè)了附件接口，可適用于各種樣品的觀察與分析。
日立*將在8月5日（星期日）～8月9日（星期四）在美國(guó)馬里蘭州舉辦的“Microscopy & Microanalysis”及9月5日（星期三）～9月7日（星期五）在幕張展示中心（千葉縣千葉市）舉辦的“JASIS 2018”上展示這款SU7000，預(yù)計(jì)每年銷量有望達(dá)150臺(tái)。
    日立*科學(xué)系統(tǒng)事業(yè)部以2020年成為電子顯微鏡行業(yè)為中期戰(zhàn)略目標(biāo)，今后仍將全力推動(dòng)產(chǎn)品研發(fā)與市場(chǎng)推廣，努力為制造業(yè)作出更大的貢獻(xiàn)。作為*、前沿的事業(yè)創(chuàng)新型企業(yè)，今后以成為提供*和解決方案的企業(yè)為目標(biāo)，始終站在客戶的立場(chǎng)，快速滿足客戶和市場(chǎng)需求。

【主要特點(diǎn)】
1．在相同WD的條件下，可同時(shí)實(shí)現(xiàn)二次電子、背散射電子觀察與X射線分析
2．多可同時(shí)實(shí)現(xiàn)6通道檢測(cè)與顯示
3．在大像素10,240 x 7,680時(shí)，也可獲得圖像數(shù)據(jù)
4．同級(jí)別*設(shè)備中多的可配置18個(gè)附件接口
5．支持低300Pa的低真空模式（選配）
*空間分辨率在1 nm/1 kV以下