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化工儀器網>產品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>薄膜生長設備>原子層沉積設備>Phoenix G2 ALD System 全自動原子層沉積系統(ALD)

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Phoenix G2 ALD System 全自動原子層沉積系統(ALD)

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 香港電子器材有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 Phoenix G2 ALD System
  • 產地 美國
  • 廠商性質 代理商
  • 更新時間 2020/8/27 17:04:07
  • 訪問次數 547

聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!


香港電子器材有限公司 成立于一九八五年,是一間為亞太地區(qū)半導體、電子及光電產業(yè)提供設備、材料以及技術銷售與服務的公司。早在九零年代中就分別在中國臺灣和新加坡設立分公司,以加強在遠東地區(qū)的銷售及服務能力。九零年代末期,亦在上海設立辦事處,以迎接廿一世紀中國地區(qū)高科技領域飛騰時代的來臨。到目前為止, 公司已于香港、新加坡、中國臺灣、馬來西亞及中國多個城市(包括北京、成都、大連、上海、深圳、蘇州、天津、武漢及西安)設有服務中心, 為客戶提供ZJ的服務。
香港電子 作為多種高科技設備制造商在遠東地區(qū)的總代理,主要服務于半導體封裝廠、芯片生產廠、液晶顯示器廠、發(fā)光二極管廠、電路板廠,以及各大專院校和研究機構。完善的售后服務是香港電子一直以來所秉持的原則,為了維持良好的售后服務,工程師均定期的前往設備制造原廠接受培訓或再培訓,務求能為客戶提供ZX的市場和產品信息,以及ZY質的售后服務。

其中光學產品線:美國普林斯頓CCD、光譜儀,加拿大Sciencetech太陽能模擬器、BNC延遲脈沖器、Gentec光電探測器、海洋光學光譜產品、Laser Quantum激光器、Crystalaser激光器、EOS紅外探測器、Sydor Instruments X射線超高速掃描照相機 

歡迎您瀏覽我們的網頁。若您對我們的產品有進一步的需求或疑問,請與本公司總部或位于各地的辦事處聯絡,我們將竭誠地為您提供及時的服務。WZ:www.teltec.biz PI公司 WZ:www.piacton.com

美國普林斯頓CCD、光譜儀,加拿大Sciencetech太陽能模擬器、BNC延遲脈沖器、Gentec光電探測器、海洋光學光譜產品、半導體前道產品、Crystalaser激光器、EOS紅外探測器、半導體后道產品

產地類別 進口 價格區(qū)間 面議
應用領域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產業(yè),電子/電池,航空航天

全自動原子層沉積系統(ALD)

Veeco(之前稱之為Cambridge Nanotech)已經有15年以上的ALD研發(fā)生產經驗。2003年Cambridge Nanotech成立于哈佛大學,05年搬到Boston并生產出Thermal ALD - Savannah, 之后生產出Plasam ALD - Fuji、批量生產ALD-Phoenix。2017年被Veeco收購,并更新了Batch HVM ALD - Firebird。至今為止,Veeco在ALD設備已有15年多的經驗,已安裝五百多臺ALD設備。 

方式: Thermal batch ALD

優(yōu)勢: 大批量熱ALD鍍膜,可靠成熟,設計靈活,易于使用,并具有許多操作界面,許多內置安全功能

薄膜: 高達370 mm x 470 mm (Gen 2.5 Panels) / 100mm 晶片 - 240 to 360 / 150mm 晶片 - 80 to 160 / 200mm 晶片 - 80 to 100 / 300 mm 晶片 - up to 40 / 其它3D 對象自定義支架

設備尺寸: 900 mm x 1370 mm x 1700 mm

功率: 208 VAC 3 Phase, 8500 W (包含泵)

ZG溫度: 可達285°C

沉積均一性: Al2O3 晶片<1.5% / Al2O3批量<1%

前驅體源瓶: 3.1 l 源瓶或 600 ml

載氣/排氣: N2 or Ar MFC flow control

原位分析選項: 臭氧發(fā)生器, LVPD,集成手套箱, 半自動負載

自動負載, SECS/GEM 界面

 



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