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620NT納米壓印 EVG 620NT SmartNIL®UV納米壓印光刻系統(tǒng)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 620NT納米壓印
  • 產(chǎn)地 奧地利
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2024/9/25 14:23:54
  • 訪問次數(shù) 1271

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公司自成立以來就一直專注于半導(dǎo)體、微組裝和電子裝配等領(lǐng)域的設(shè)備集成和技術(shù)服務(wù);目前公司擁有一支在半導(dǎo)體制造、微組裝及電子裝配等領(lǐng)域經(jīng)驗(yàn)豐富的專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì),專業(yè)服務(wù)于混合電路、光電模塊、MEMS、先進(jìn)封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導(dǎo)體、微波器件、功率器件、紅外探測、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領(lǐng)域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設(shè)備,還能根據(jù)客戶的實(shí)際生產(chǎn)需求制訂可行的工藝技術(shù)方案。
目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導(dǎo)體制造設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶提供先進(jìn)的設(shè)備和專業(yè)的技術(shù)服務(wù)打下了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

 

半導(dǎo)體設(shè)備,微組裝設(shè)備,LTCC設(shè)備,化工檢測設(shè)備

應(yīng)用領(lǐng)域 電子,航天,電氣

EVG®620 NT

Smart NIL® UV Nanoimprint Lithography System

EVG®620NT   SmartNIL®UV納米壓印光刻系統(tǒng)

 

具有UV納米壓印功能的通用掩模對準(zhǔn)系統(tǒng),采用EVG專有的SmartNIL®技術(shù),大可達(dá)100 mm

 

技術(shù)數(shù)據(jù)

EVG620 NT以其靈活性和可靠性而著稱,以小的占位面積提供了的掩模對準(zhǔn)技術(shù)。操作員友好型軟件,短的掩模和模具更換時(shí)間以及有效的服務(wù)支持使它們成為任何研發(fā)環(huán)境(半自動批量生產(chǎn))的理想解決方案。該工具支持多種標(biāo)準(zhǔn)光刻工藝,例如真空,軟,硬和接近曝光模式,以及背面對準(zhǔn)選項(xiàng)。此外,該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能,包括鍵對齊和納米壓印光刻。此外,半自動和全自動系統(tǒng)配置均支持EVG專有的SmartNIL技術(shù)。

     

SmartNIL是行業(yè)的NIL技術(shù),可對小于40 nm *的極小特征進(jìn)行圖案化,并可以對各種結(jié)構(gòu)尺寸和形狀進(jìn)行圖案化。 SmartNIL與多用途軟戳技術(shù)相結(jié)合,可實(shí)現(xiàn)的吞吐量,并具有顯著的擁有成本優(yōu)勢,同時(shí)保留了可擴(kuò)展性和易于維護(hù)的操作。 EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印技術(shù)的長期前景,納米壓印技術(shù)是一種用于大規(guī)模生產(chǎn)微米級和納米級結(jié)構(gòu)的低成本,高產(chǎn)量的替代光刻技術(shù)。

*分辨率取決于過程和模板

 

 

特征

頂側(cè)和底側(cè)對齊能力

高精度對準(zhǔn)臺

自動楔形補(bǔ)償序列

電動和配方控制的曝光間隙

支持UV-LED技術(shù)

小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求

分步流程指導(dǎo)

遠(yuǎn)程技術(shù)支持

多用戶概念(無限數(shù)量的用戶帳戶和配方,可分配的訪問權(quán)限,不同的用戶界面語言)

敏捷處理和轉(zhuǎn)換重組

臺式或帶防震花崗巖臺的單機(jī)版

附加功能:鍵對齊、紅外對準(zhǔn)、SmartNIL 、µ接觸印刷

 

技術(shù)數(shù)據(jù)

晶圓直徑(基板尺寸)

標(biāo)準(zhǔn)光刻:大150毫米的碎片

柔軟的UV-NIL:大150毫米的碎片

SmartNIL®:長達(dá)100毫米

解析度≤40 nm(分辨率取決于模板和工藝)

支持流程:柔軟的UV-NIL和SmartNIL®

曝光源:汞光源或紫外線LED光源

 

對準(zhǔn)

NIL:≤±0.5 µm

SmartNIL®:≤±3 µm

自動分離

柔紫外線NIL:不支持

SmartNIL®:受支持

工作印章制作

柔軟的UV-NIL:外部

SmartNIL®:受支持




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