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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>光刻及涂膠顯影設備>納米壓印設備>6200NT納米壓印 EVG6200NT SmartNIL UV納米壓印光刻系統(tǒng)

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6200NT納米壓印 EVG6200NT SmartNIL UV納米壓印光刻系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 6200NT納米壓印
  • 產(chǎn)地 奧地利
  • 廠商性質 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2024/9/25 14:25:43
  • 訪問次數(shù) 1377

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公司自成立以來就一直專注于半導體、微組裝和電子裝配等領域的設備集成和技術服務;目前公司擁有一支在半導體制造、微組裝及電子裝配等領域經(jīng)驗豐富的專業(yè)技術團隊,專業(yè)服務于混合電路、光電模塊、MEMS、先進封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導體、微波器件、功率器件、紅外探測、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設備,還能根據(jù)客戶的實際生產(chǎn)需求制訂可行的工藝技術方案。
目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導體制造設備企業(yè)建立了良好的合作關系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶提供先進的設備和專業(yè)的技術服務打下了堅實基礎。

 

半導體設備,微組裝設備,LTCC設備,化工檢測設備

應用領域 電子,航天,電氣

EVG®6200 NT

SmartNIL UV Nanoimprint Lithography System

EVG®6200NT   SmartNIL UV納米壓印光刻系統(tǒng)

 

具有紫外線納米壓印功能的通用掩模對準系統(tǒng),采用EVG專有的SmartNIL®技術,大可達150 mm

 

技術數(shù)據(jù)

這些系統(tǒng)以其自動化的靈活性和可靠性而著稱,以小的占地面積提供了的掩模對準技術。操作員友好型軟件,短的掩模和工具更換時間以及高效的服務和支持使它們成為任何研發(fā)環(huán)境(半自動批量生產(chǎn))的理想解決方案。該工具支持多種標準光刻工藝,例如真空,軟,硬和接近曝光模式,并且可以選擇背面對準。此外,該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能,包括鍵對齊和納米壓印光刻。此外,半自動和全自動系統(tǒng)配置均支持EVG專有的SmartNIL技術。

SmartNIL是行業(yè)的NIL技術,可對小于40 nm *的極小特征進行圖案化,并可以對各種結構尺寸和形狀進行圖案化。 SmartNIL與多用途軟戳技術相結合,可實現(xiàn)的吞吐量,并具有顯著的擁有成本優(yōu)勢,同時保留了可擴展性和易于維護的操作。 EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印技術的長期前景,納米壓印技術是一種用于大規(guī)模生產(chǎn)微米級和納米級結構的低成本,高產(chǎn)量的替代光刻技術。

*分辨率取決于過程和模板

 

 

特征

頂側和底側對齊能力

高精度對準臺

自動楔形補償序列

電動和配方控制的曝光間隙

支持UV-LED技術

小化系統(tǒng)占地面積和設施要求

分步流程指導

遠程技術支持

多用戶概念(無限數(shù)量的用戶帳戶和配方,可分配的訪問權限,不同的用戶界面語言)

敏捷處理和轉換重組

臺式或帶防震花崗巖臺的單機版

附加功能:鍵對齊、紅外對準、

智能NIL®

µ接觸印刷

 

EVG6200NT技術數(shù)據(jù)

晶圓直徑(基板尺寸)

標準光刻:75至200 mm

柔軟的UV-NIL:75至200毫米

SmartNIL®:大150毫米

解析度≤40 nm(分辨率取決于模板和工藝)

支持流程

柔軟的UV-NIL和SmartNIL®

曝光源:汞光源或紫外線LED光源

 

對準

NIL:≤±0.5 µm

SmartNIL®:≤±3 µm

自動分離

柔紫外線NIL:不支持

SmartNIL®:受支持

工作印章制作

柔軟的UV-NIL:外部

SmartNIL®:受支持



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