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EVG 7200 納米壓印 EVG7200 自動化SmartNIL UV納米壓印光刻

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 EVG 7200 納米壓印
  • 產(chǎn)地 奧地利
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2024/9/25 14:29:17
  • 訪問次數(shù) 1506

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公司自成立以來就一直專注于半導(dǎo)體、微組裝和電子裝配等領(lǐng)域的設(shè)備集成和技術(shù)服務(wù);目前公司擁有一支在半導(dǎo)體制造、微組裝及電子裝配等領(lǐng)域經(jīng)驗豐富的專業(yè)技術(shù)團隊,專業(yè)服務(wù)于混合電路、光電模塊、MEMS、先進封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導(dǎo)體、微波器件、功率器件、紅外探測、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領(lǐng)域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設(shè)備,還能根據(jù)客戶的實際生產(chǎn)需求制訂可行的工藝技術(shù)方案。
目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導(dǎo)體制造設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶提供先進的設(shè)備和專業(yè)的技術(shù)服務(wù)打下了堅實基礎(chǔ)。

 

半導(dǎo)體設(shè)備,微組裝設(shè)備,LTCC設(shè)備,化工檢測設(shè)備

應(yīng)用領(lǐng)域 電子,航天,電氣

EVG®7200   Automated SmartNIL® UV Nanoimprint Lithography S

EVG®7200   自動化SmartNIL®UV納米壓印光刻系統(tǒng)

 

具有EVG專有的SmartNIL®技術(shù)的自動全場UV納米壓印解決方案(大200毫米)

 

 

技術(shù)數(shù)據(jù)

EVG7200系統(tǒng)利用EVG的創(chuàng)新SmartNIL技術(shù)和EVG的材料專長來實現(xiàn)微米級和納米級結(jié)構(gòu)的批量生產(chǎn)。該系統(tǒng)將SmartNIL的高級軟印和壓印功能帶到了更大的基板和更小的幾何形狀上,批量生產(chǎn)時的分辨率低至40 nm *。這帶來了更大的擁有成本(CoO)收益,并實現(xiàn)了納米壓印光刻技術(shù)的全部制造潛力。

*分辨率取決于過程和模板

 

 

特征

體積驗證的壓印技術(shù),具有出色的復(fù)制保真度

專有的SmartNIL®技術(shù)和多次使用的聚合物印模技術(shù)

集成式壓印,UV固化,脫模和工作印模制作

盒帶到盒帶自動處理以及半自動R&D模式

可選的頂部對齊

可選的迷你環(huán)境

適用于所有市售壓印材料的開放平臺

從研發(fā)到生產(chǎn)的可擴展性

系統(tǒng)外殼,可實現(xiàn)過程穩(wěn)定性和可靠性

 

技術(shù)數(shù)據(jù)

晶圓直徑(基板尺寸)75至200毫米;

解析度≤40 nm(分辨率取決于模板和工藝)

支持流程:SmartNIL®

曝光源:大功率LED(i線)> 400 mW /cm²

對準:可選的頂部對齊

自動分離:支持的

迷你環(huán)境和氣候控制:可選的

工作印章制作:支持的

 



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