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EVG 7200LA納米壓印 EVG 7200LA 大面積SmartNIL UV納米壓印

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào) EVG 7200LA納米壓印
  • 產(chǎn)地 奧地利
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2024/9/25 14:31:39
  • 訪問(wèn)次數(shù) 1347

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公司自成立以來(lái)就一直專注于半導(dǎo)體、微組裝和電子裝配等領(lǐng)域的設(shè)備集成和技術(shù)服務(wù);目前公司擁有一支在半導(dǎo)體制造、微組裝及電子裝配等領(lǐng)域經(jīng)驗(yàn)豐富的專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì),專業(yè)服務(wù)于混合電路、光電模塊、MEMS、先進(jìn)封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導(dǎo)體、微波器件、功率器件、紅外探測(cè)、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領(lǐng)域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設(shè)備,還能根據(jù)客戶的實(shí)際生產(chǎn)需求制訂可行的工藝技術(shù)方案。
目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導(dǎo)體制造設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶提供先進(jìn)的設(shè)備和專業(yè)的技術(shù)服務(wù)打下了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

 

半導(dǎo)體設(shè)備,微組裝設(shè)備,LTCC設(shè)備,化工檢測(cè)設(shè)備

應(yīng)用領(lǐng)域 電子,航天,電氣

EVG®7200 LA

Large-Area SmartNIL® UV Nanoimprint Lithography System

EVG®7200LA  大面積SmartNIL®UV納米壓印光刻系統(tǒng)

 

大面積的共形納米壓印光刻

 

技術(shù)數(shù)據(jù)

EVG7200大面積UV納米壓印系統(tǒng)使用EVG專有且經(jīng)過(guò)量證明的SmartNIL技術(shù),將納米壓印光刻(NIL)縮放為第三代(550 mm x 650 mm)面板尺寸的基板。對(duì)于不能減小尺寸的顯示器,線柵偏振器,生物技術(shù)和光子元件等應(yīng)用,至關(guān)重要的是通過(guò)增加圖案面積來(lái)提高基板利用率。 NIL已被證明是能夠在大面積上制造納米圖案的有效的方法,因?yàn)樗皇芄鈱W(xué)系統(tǒng)的限制,并且可以為小的結(jié)構(gòu)提供的圖案保真度。

 

SmartNIL利用非常強(qiáng)大且可控的加工工藝,提供了低至40 nm *的出色保形壓印結(jié)果。憑借*且經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的設(shè)備功能(包括的易用性)以及高水平的工藝專業(yè)知識(shí),EVG通過(guò)將納米壓印提升到一個(gè)新的水平來(lái)滿足行業(yè)需求。

*分辨率取決于過(guò)程和模板

 

特征

專有的SmartNIL®技術(shù)可在大面積區(qū)域提供的共形烙印

經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的技術(shù),具有出色的復(fù)制保真度和均勻性

多次使用的聚合物工作印模技術(shù)可延長(zhǎng)母版使用壽命并節(jié)省大量成本

強(qiáng)大且可控的處理

與所有市售的壓印材料兼容

 

EVG7200LA技術(shù)數(shù)據(jù)

晶圓直徑(基板尺寸):直徑200毫米以下直至Gen3(550 x 650毫米)

解析度:40 nm-10 µm(分辨率取決于模板和工藝)

支持流程:SmartNIL®

曝光源:大功率窄帶(> 400 mW /cm²)

對(duì)準(zhǔn):可選的光學(xué)對(duì)準(zhǔn):≤±15 µm

自動(dòng)分離:支持的

 

迷你環(huán)境和氣候控制:可選的

工作印章制作:支持的



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