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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>光刻及涂膠顯影設備>納米壓印設備>EVG 7200LA納米壓印 EVG®510HE 熱壓印系統(tǒng)

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EVG 7200LA納米壓印 EVG®510HE 熱壓印系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 EVG 7200LA納米壓印
  • 產(chǎn)地 奧地利
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2024/9/25 14:34:01
  • 訪問次數(shù) 1407

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公司自成立以來就一直專注于半導體、微組裝和電子裝配等領域的設備集成和技術服務;目前公司擁有一支在半導體制造、微組裝及電子裝配等領域經(jīng)驗豐富的專業(yè)技術團隊,專業(yè)服務于混合電路、光電模塊、MEMS、先進封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導體、微波器件、功率器件、紅外探測、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設備,還能根據(jù)客戶的實際生產(chǎn)需求制訂可行的工藝技術方案。
目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導體制造設備企業(yè)建立了良好的合作關系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶提供先進的設備和專業(yè)的技術服務打下了堅實基礎。

 

半導體設備,微組裝設備,LTCC設備,化工檢測設備

應用領域 電子,航天,電氣

EVG®510 HE  Hot Embossing System

EVG®510HE  熱壓印系統(tǒng)

高度靈活的熱壓系統(tǒng),用于研發(fā)和小批量生產(chǎn)

 

技術數(shù)據(jù)

EVG510 HE半自動熱壓花系統(tǒng)設計用于對熱塑性基材進行高精度壓印。該設備配置有通用壓花室以及真空和接觸力功能,并管理適用于熱壓花的全部聚合物。結(jié)合高縱橫比壓印和多種脫壓選項,提供了許多用于高質(zhì)量納米圖案轉(zhuǎn)印的工藝。

 

特征

用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓花應用

自動化壓花工藝

EVG專有的獨立對準工藝,用于光學對準的壓印和壓印

*由軟件控制的流程執(zhí)行

閉環(huán)冷卻水供應選項      ;  外部浮雕和冷卻站

 

技術數(shù)據(jù)

加熱器尺寸150毫米200毫米

大基板尺寸150毫米200毫米

小基板尺寸單芯片100毫米

大接觸力:10、20、60 kN

溫度:標準:350°C;可選:550°C

夾盤系統(tǒng)/對準系統(tǒng)

150毫米加熱器:EVG®610,EVG®620,EVG®6200

200毫米加熱器:EVG®6200,MBA300,SmartView®NT

真空:標準:0.1毫巴;可選:0.00001 mbar



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