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MFM-50 特氣高精度防爆型氣體質量流量計控制器

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青島芯笙微納電子科技有限公司,位于青島市嶗山區(qū)國際創(chuàng)新園,孵化自山東大學。公司以氣體質量流量計/控制器(MFC)、薄膜真空計(Vacuum Gauges)、壓力控制器(EPC)等半導體核心零部件的研發(fā)、生產和銷售為主營業(yè)務,通過自主創(chuàng)新、產學研合作及成果轉化、行業(yè)整合等手段,實現(xiàn)快速發(fā)展,助力國家半導體產業(yè)的發(fā)展。
公司現(xiàn)有發(fā)明Z利21項,實用新型12項,計量證書、CE認證、TUV EMC認證、防爆認證等各類證書30余份,從核心芯片到模組、算法構建了全鏈條技術能力。核心研發(fā)成員來自新加坡微電子研究院、德國卡爾斯魯厄理工學院、山東大學、中科院、復旦大學等科研機構以及國內儀器儀表企業(yè),全力打造國內研發(fā)團隊。
公司獲評國家高新技術企業(yè)、青島市“專精特新”企業(yè),承建有青島市先進傳感器重點實驗室、青島市先進氣體流量測控技術工程中心、青島市專家工作站等研發(fā)機構,并承擔多項科技部重點研發(fā)計劃、山東省重大創(chuàng)新工程、青島市重點項目等國家及省部級技術攻關課題。

公司現(xiàn)有千級和萬級潔凈廠房3000余平米,在青島、深圳、濰坊等地設有制造基地和研發(fā)中心,全面保障產品的高質量、快速出貨能力,并提供專業(yè)的售前售后服務。

 

 

 

質量流量控制器,質量流量計

應用領域 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,電子/電池,綜合

特氣高精度防爆型氣體質量流量計控制器是專門針對高溫氣體檢測所研制一款高精度質量流量計,承受溫度達到120°。在結構設計上,本產品采用的MEMS流量傳感器芯片技術,結合高速數字處理電路和特殊流道設計,用來對氣體流量/質量流量進行高精度測量,該產品具有精度高、響應速度快、集成度高等優(yōu)點。

該產品可根據客戶需要,設計IP65級及以上的防水、防塵保護,以及汽車級抗震設計。
該 產 品 20 SLM 以 內 典 型精 度 為 1 %,50 SLM 典 型 精 度 為 1 . 5 %,量程比均優(yōu)于100 : 1 ,此 系 列 產 品 的 量 程 從100SCCM 到 800 SLM 可 選(其它量程可咨詢定制),輸出信號可選擇:4-20mA模擬信號、0-5V模擬信號、RS485數字信號,供電電壓為DC24V(±10%)。

精密氣體流量計產品應用于:醫(yī)療儀器、環(huán)境分析儀器、光譜色譜分析儀器、泄漏檢測、熱力分析、智能釬焊、其他氣體流量控制行業(yè)等

特氣高精度防爆型氣體質量流量計控制器 擁有防爆認證
超小的體積,適合系統(tǒng)集成
高精度及零點穩(wěn)定性
超快的響應時間及穩(wěn)定時間
良好的重復性和再現(xiàn)性
可模擬采集、控制或數字采集、控制
良好的防水防沉和抗震性能,適用于多種場合







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