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RAITH-EBPG5150 電子束直寫系統(tǒng) EBPG5150

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào) RAITH-EBPG5150
  • 產(chǎn)地 德國(guó)
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2024/9/25 15:40:40
  • 訪問(wèn)次數(shù) 2065

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公司自成立以來(lái)就一直專注于半導(dǎo)體、微組裝和電子裝配等領(lǐng)域的設(shè)備集成和技術(shù)服務(wù);目前公司擁有一支在半導(dǎo)體制造、微組裝及電子裝配等領(lǐng)域經(jīng)驗(yàn)豐富的專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì),專業(yè)服務(wù)于混合電路、光電模塊、MEMS、先進(jìn)封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導(dǎo)體、微波器件、功率器件、紅外探測(cè)、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領(lǐng)域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設(shè)備,還能根據(jù)客戶的實(shí)際生產(chǎn)需求制訂可行的工藝技術(shù)方案。
目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導(dǎo)體制造設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶提供先進(jìn)的設(shè)備和專業(yè)的技術(shù)服務(wù)打下了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

 

半導(dǎo)體設(shè)備,微組裝設(shè)備,LTCC設(shè)備,化工檢測(cè)設(shè)備

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 150萬(wàn)-200萬(wàn)
應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池

專業(yè)電子束曝光系統(tǒng)

電子束直寫系統(tǒng)  EBPG5150

自動(dòng)化和高速度的電子束直寫技術(shù)

電子束直寫系統(tǒng)EBPG5150使用了155mm大小的樣品臺(tái),采用跟電子束曝光機(jī)EBPG5200一樣的通用光刻平臺(tái)設(shè)計(jì),對(duì)電子束直寫應(yīng)用進(jìn)行了優(yōu)化。它可以載入不同大小的樣品,包括多片散片以及完整的硅片。 

 

 

Improved Specifications

  • Ultra-fast, low-noise pattern generator 125 MHz
  • Extreme beam current up to 350 nA
  • Excellent direct write performance with overlay accuracy of ≤ 5nm

 

  • 高束流密度,熱場(chǎng)發(fā)射電子槍可以在20、50100kV之間切換
  • 155mm的平臺(tái)
  • 小曝光特征尺寸小于8nm
  • 高速度曝光,可采用50100MHz的圖形發(fā)生器
  • 在所有KVs加速電壓下,可連續(xù)改變的寫場(chǎng)大小,大可以到1mm
  • GUI人機(jī)交互界面友好,簡(jiǎn)潔易用,適用于多用戶環(huán)境
  • 多項(xiàng)靈活可選擇的配置,可以適用于不同應(yīng)用的需求

可選的系統(tǒng)增強(qiáng)升級(jí)

EBPG5150可以選擇不同的升級(jí)選項(xiàng),以滿足用戶不同的技術(shù)和預(yù)算需求。讓*的高校等研究類用戶也可以使用這款非常先進(jìn)、高自動(dòng)化的電子束光刻系統(tǒng)。

 

電子束直寫系統(tǒng)EBPG5150 應(yīng)用

  • 電子束曝光用于制作GaAs T型器件

 

  • 微盤諧振器

 

  • 開(kāi)口環(huán)諧振器

電子束直寫系統(tǒng)EBPG5150 產(chǎn)品詳情

主要應(yīng)用:

  • 100KV高加速電壓可用于曝光高深寬比納米結(jié)構(gòu)
  • 高速電子束直寫
  • 批量生產(chǎn),如化合物半導(dǎo)體器件
  • 防偽標(biāo)識(shí)

電子光學(xué)柱技術(shù):

  • EBPG
  • 電子束
  • 100 kV

樣品臺(tái):

  • 覆蓋完整6英寸硅片大小
  • 標(biāo)配2工位自動(dòng)化上料
    (10工位可選)

 

 



化工儀器網(wǎng)

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