全自動大樣品臺原子力顯微鏡

缺陷分析的佳選擇

作為一款缺陷形貌分析的精密測量儀器，其主要目的是對樣品進(jìn)行缺陷檢測。而儀器所提供的數(shù)據(jù)不能允許任何錯誤的存在。Park NX20，這款精密的大型樣品原子力顯微鏡，憑借著出色的數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性，在半導(dǎo)體和超平樣品行業(yè)中大受贊揚(yáng)。200mm樣品全尺寸自動測量，無需人工操作。

強(qiáng)大全面的分析功能

可快速幫助客戶找到產(chǎn)品失效的原因，并幫助客戶制定出更多具有創(chuàng)意的解決方案。精密度為您帶來高分辨率數(shù)據(jù)，讓您能夠更加專注于工作。與此同時，真正非接觸掃描模式讓探針針尖更耐用，無需為頻繁更換探針而耗費(fèi)大量的時間和金錢。

即便是*接觸原子顯微鏡的工程師也易于操作

ParkNX20擁有業(yè)界為便捷的設(shè)計(jì)和自動界面，讓你在使用時無需花費(fèi)大量的時間和精力，也不用為此而時時不停的指導(dǎo)初學(xué)者。借助這一系列特點(diǎn)，您可以更加專注于解決更為重大的問題，并為客戶提供及時且富有洞察力的失效分析報告。

全自動大樣品臺原子力顯微鏡

為FA和研究實(shí)驗(yàn)室提供形貌測量解決方案

缺陷檢查成像和分析

高分辨率電子掃描模式

對樣品和基片進(jìn)行表面粗糙度測量

樣品側(cè)壁三維結(jié)構(gòu)測量

低噪音Z探測器可準(zhǔn)確測量AFM表面形貌

非接觸模式，降低針尖磨損，減少換探針時間

非接觸模式下的快速缺陷成像

業(yè)內(nèi)三維結(jié)構(gòu)測量的解耦XY掃描系統(tǒng)

通過使用熱匹配的組件，盡量減少系統(tǒng)漂移和遲滯現(xiàn)象

低噪聲Z探測器可準(zhǔn)確測量AFM表面形貌

業(yè)界低噪聲Z檢測器測量樣品表面形貌

沒有過沿過沖和壓電蠕變誤差的真正樣品表面形貌

即使是高速掃描也可以保持準(zhǔn)確的表面高度

行業(yè)前向和后向掃描間隙橫向漂移小于0.15%

全自動大樣品臺原子力顯微鏡

用真正的非接觸掃描方式節(jié)省成本

在一般用途和缺陷成像中，具有普通掃描模式10倍或更長的針尖使用壽命減少針尖摩損

真實(shí)的再現(xiàn)樣品微觀三維形貌，減少樣品在掃描過程中的損壞或變形。

行業(yè)低噪聲Z軸探測器

超低噪聲Z探測器，噪音水平低于0.02nm，從而達(dá)成非常樣品形貌成像，沒有邊沿過沖無須校準(zhǔn)。 NX20為您提供好的數(shù)據(jù)同時也為您節(jié)省寶貴的時間

真正非接觸模式™可保護(hù)針尖鋒利度

原子力顯微鏡的針尖本身很脆弱，在掃描過程中，針尖磨損會逐漸降圖片質(zhì)量和分辨率。測量表面軟的樣品時，針尖也會破壞樣品并生成不準(zhǔn)確的樣品高度測量數(shù)據(jù)。作為Park原子力顯微鏡*的一種掃描模式，真正非接觸模式™可持續(xù)獲得高分辨率且準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)，同時保持針尖的完整性。

全自動大樣品臺原子力顯微鏡NX20

凝聚著具創(chuàng)新的AFM技術(shù)

100 μm x100 μm掃描范圍的XY平板掃描器

XY平板掃描器，采用壓電堆棧設(shè)計(jì)，減少傳統(tǒng)掃描過程中XY的正交影響，具有高速的影響頻率，實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的樣品納米級掃描。

高速Z軸掃描器，掃描范圍達(dá)15μm

高強(qiáng)度壓電堆棧和饒性設(shè)計(jì)，標(biāo)準(zhǔn)Z軸掃描器的共振頻率大于9kHz(一般為10.5kHz)且探針的Z軸掃描速率不低于48mm/秒。 Z軸大掃描范圍可從標(biāo)準(zhǔn)的15μm擴(kuò)展至30μm(長范圍Z掃描頭)。

低噪聲XYZ位置傳感器

低噪聲XYZ閉環(huán)掃描可將正向掃描和反向掃描間隙降至掃描范圍的0.15%以下。

集成編碼器的XY自動樣品載品

編碼器可用于所有自動樣品載臺，并可保證更高的重復(fù)定位精度，從而可更準(zhǔn)確地控制樣品測量位置。XY馬達(dá)動工作時分辨率為1μm，重復(fù)率為2μm。Z馬達(dá)運(yùn)動的分辨率為0.1μm，重復(fù)率為1μm。

自動多點(diǎn)樣品掃描

借助驅(qū)動樣品臺，可編程步進(jìn)掃描，多區(qū)域成像，以下是它的工作流程：

1.掃描成像

2.抬起懸臂

3.移動驅(qū)動平臺到設(shè)定位置

4.進(jìn)針

5.重新設(shè)定位置掃描成像

該自動化功能大大減少掃描過程中人工的移動樣品，從而縮短測試時間，提高生產(chǎn)率。

操作方便的樣品臺

特殊的頭部設(shè)計(jì)，可使用從側(cè)面操作樣品及探針，根據(jù)所選擇樣品臺的行程范圍，用品在樣品臺上可放置的大樣品直徑200mm。

用于拓展掃描模式易插拔擴(kuò)展槽

你只需要將可選模塊插入擴(kuò)展槽，便可激活拓展掃描顯微鏡模式。得益于NX系列原子力顯微鏡的模塊化設(shè)計(jì)，其產(chǎn)品線的配置兼容性大大提高

同軸高功率光學(xué)集成LED照明和CCD系統(tǒng)

掃描頭滑動嵌入式設(shè)計(jì)

你只需滑動嵌入燕尾導(dǎo)執(zhí)便可輕松更換原子力顯微鏡掃描頭。該設(shè)計(jì)可將掃描頭自動鎖定至預(yù)對準(zhǔn)的位置，無須調(diào)節(jié)激光位置，激光自動投射在針尖上。借助于鄉(xiāng)優(yōu)異的四象限檢測器，顯微鏡可準(zhǔn)確成像并可準(zhǔn)確測定力，距離曲線。

自動Z軸移動和聚焦系統(tǒng)

高度限行Z軸移動和聚焦系統(tǒng)，可以得到清晰的視野和圖像，用戶通過軟件界面進(jìn)行操作，由高精度步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動，即使液體或者透明樣品也可快速找到樣品表面。

高速24位數(shù)字電子控制器

所有NX系列的原子力顯微鏡都是由相同的NX電子控制器進(jìn)行控制和處理。該控制器是個全數(shù)字，24位高速控制器，可確保True Non-ContactTM模式下的成像精度和速度。憑借著低噪音設(shè)計(jì)和高速處理單元，該控制器也是納米成象和準(zhǔn)確電壓、電流測量的選擇。嵌入式數(shù)字信號處理為原子力顯微鏡帶來更為豐富的功能，更好的解決方式，是資深研究員的佳選擇。

XY.Z軸檢測器的24位信號分辨率

XY軸的小分辨率為0.003nm (50 μm XY掃描器)

Z軸的小分辨率為0.001nm (50 μm Z掃描器)

嵌入式數(shù)字信號處理功能

三個鎖相放大器

探針彈簧系數(shù)校準(zhǔn)(熱方法)

數(shù)字化Q控制

集成式信號端口

可編程信號輸入/輸出端口

7個輸入端口和3個輸出端口

世界上容易操作的AFM

簡單的探針和樣品更換

*的設(shè)計(jì)讓您輕易地用手從側(cè)面更換新的探針和樣品。借助安裝懸臂式探針夾頭中于預(yù)先校準(zhǔn)的探針位置，無須再進(jìn)行繁瑣的激光調(diào)節(jié)工作。

帶有兩級反饋系統(tǒng)的閉環(huán)XY掃描器

XY掃平板掃描器的每個軸上的低噪聲位移傳應(yīng)器，可以在進(jìn)行大掃描范圍時提高樣本掃描正交性。次級傳感器會對非線性和非平面位置錯誤進(jìn)行補(bǔ)償，真實(shí)的還原樣品的形貌。

閃電般快速的自動進(jìn)針

自動的探針樣品進(jìn)針功能能讓用戶無需進(jìn)行干預(yù)操作。通過監(jiān)測懸臂接近表面的反應(yīng)，Park NX20能夠在探針裝載后，十秒內(nèi)自動快速完成探針進(jìn)針操作。高速、軸掃描器的快速信息反饋和NX電子控制器的低噪聲信號處理使得探針無需用戶干預(yù)就能快速接觸樣品表面。

主動溫控隔音罩

專為Park NX20設(shè)計(jì)的隔音罩，主動進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)功能，保證側(cè)試環(huán)境在一個*穩(wěn)定的熱環(huán)境中。 Park NX20 還具有主動隔振功能，*與外界的聲、光噪聲隔離，因此測試的準(zhǔn)確性將不受到外界干擾。

操作簡單-創(chuàng)新的控制設(shè)計(jì)使Park NX20能夠快速達(dá)于溫度平衡

節(jié)省操作時間-關(guān)閉隔音罩10分鐘內(nèi)可保持測試環(huán)境低于0.05°C的溫差