掃描探針顯微鏡（SPM）具有很高的分辨率，實(shí)用性強(qiáng)，從器件表征到物理化學(xué)、生命科學(xué)、材料科學(xué)等方面都有廣泛應(yīng)用。這是一套簡(jiǎn)易的裝置，儀器成本合理，適用于科學(xué)研究。Innova具有的閉環(huán)掃描線性化系統(tǒng)，測(cè)量準(zhǔn)確性，而且維持噪音水平接近開(kāi)環(huán)的低噪音水平。
   掃描探針顯微鏡使用Innova檢測(cè)樣品時(shí)，從亞微米級(jí)的小尺寸樣品到達(dá)90微米的大尺寸樣品，都可進(jìn)行實(shí)驗(yàn)操作，且獲得原子級(jí)分辨率，測(cè)量不同尺寸樣品無(wú)需更換掃描器等硬件；替換探針或樣品等操作簡(jiǎn)便易行；集成化高分辨率彩色光學(xué)系統(tǒng)和可編程自動(dòng)化Z軸調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可快速簡(jiǎn)易地定位到待測(cè)區(qū)域聚合物材料表征，集成光路測(cè)量，材料力學(xué)性能表征，MEMS制造，細(xì)胞表面形態(tài)觀察，生物大分子的結(jié)構(gòu)及性質(zhì)，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)，金屬/合金/金屬蒸鍍的性質(zhì)研究，食品、化學(xué)品、護(hù)膚品的加工/包裝，液晶材料性能表征，分子器件，生物傳感器，分子自組裝結(jié)構(gòu)，光盤(pán)存儲(chǔ)，陶瓷工藝，薄膜性能表征，地質(zhì)、能源、環(huán)境等領(lǐng)域高分辨率
       Innova的機(jī)電設(shè)計(jì)，包括帶有短機(jī)械路徑和低熱漂移的堅(jiān)固顯微鏡平臺(tái)，低噪音電子器件，都做了優(yōu)化，具有高分辨率和閉環(huán)掃描的組合。利用的低噪音數(shù)字閉環(huán)線性化掃描，不管掃描尺寸，偏移量，掃描速度或掃描角度的旋轉(zhuǎn)如何設(shè)置，對(duì)樣品均可準(zhǔn)確測(cè)量，高分辨成像。
 

性能
       Innova 機(jī)電設(shè)計(jì)的方面，包括從帶有短機(jī)械路徑和低溫度漂移的堅(jiān)固顯微鏡平臺(tái)到低噪音電子器件，都做了優(yōu)化，得到高分辨率性能和閉環(huán)掃描的組合。
       Innova利用的低噪音數(shù)字閉環(huán)線性化掃描，達(dá)到對(duì)尺寸均可準(zhǔn)確測(cè)量，而不管掃描尺寸，偏移量，掃描速度或掃描角度的旋轉(zhuǎn)如何設(shè)置。在90微米到亞微米級(jí)成像范圍內(nèi)均可獲得高質(zhì)量圖像，并且閉環(huán)噪音水平接近開(kāi)環(huán)噪音水平。另外，閉環(huán)線性化掃描可以在線啟動(dòng)或關(guān)閉。這個(gè)驚人的靈活性允許其對(duì)全尺寸掃描的任意一部分進(jìn)行放大至原子分辨率掃描，而不用更換掃描器，且無(wú)需從測(cè)量表面抬起探針。圖像的旋轉(zhuǎn)，圖像在成像窗口的位置以及掃描速度不會(huì)影響成像結(jié)果。

行業(yè)應(yīng)用：
您的應(yīng)用是什么—Innova都已準(zhǔn)備好：
• 材料科學(xué)
• 納米刻蝕
• 生命科學(xué)
• 聚合物
• 器件表征