NS3500 Solar 半導(dǎo)體晶圓質(zhì)量檢測系統(tǒng)

NS-3500 Solar 是一種可靠的半導(dǎo)體晶圓檢測系統(tǒng)。通過快速光學(xué)掃描模塊和信號處理算法實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結(jié)構(gòu)，可以為半導(dǎo)體晶片，F(xiàn)PD產(chǎn)品，MEMS設(shè)備，玻璃基板，材料表面等提供各種解決方案。

Features & Benefits（性能及優(yōu)勢）：

• 高分辨無損傷光學(xué)3D測量                               自動(dòng)傾斜補(bǔ)償

• 實(shí)時(shí)共焦成像                                                 簡單的數(shù)據(jù)分析模式

• 多種光學(xué)變焦                                                 雙Z掃描

  大范圍拼接                                                    半透明基材的特征檢測

• 實(shí)時(shí)CCD明場和共聚焦成像                            無樣品準(zhǔn)備

• 自動(dòng)聚焦

•   

Application field（應(yīng)用領(lǐng)域）：

NS-3500是測量低維材料的有前途的解決方案。

可測量微米和亞微米結(jié)構(gòu)的高度，寬度，角度，面積和體積，例如

-半導(dǎo)體:IC圖形，凹凸高度，線圈高度，缺陷檢測，CMP工藝

- FPD產(chǎn)品:觸摸屏屏幕檢測，ITO圖案，LCD柱間距高度

- MEMS器件:結(jié)構(gòu)三維輪廓，表面粗糙度，MEMS圖形

-玻璃表面:薄膜太陽能電池，太陽能電池紋理，激光圖案

-材料研究:模具表面檢測，粗糙度，裂紋分析

Specifications(規(guī)格）:

注1:精細(xì)掃描由壓電執(zhí)行器（PZT）執(zhí)行。

注2 :以100×/ 0.95物鏡對標(biāo)準(zhǔn)樣品（步長1μm）進(jìn)行100次測量。