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FPMIC-SPS-2800 進(jìn)口半自動(dòng)探針臺(tái)
- 公司名稱 孚光精儀(中國(guó))有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) FPMIC-SPS-2800
- 產(chǎn)地 www.felles.cn/tanzhentai2.html
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/9/2 16:44:37
- 訪問(wèn)次數(shù) 494
半自動(dòng)探針臺(tái)自動(dòng)探針臺(tái)晶圓探針臺(tái)分析探針臺(tái)進(jìn)口探針臺(tái)
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這款半自動(dòng)探針臺(tái)廣泛用作電動(dòng)分析探針臺(tái)和半自動(dòng)晶圓探針臺(tái),可測(cè)試200mm晶圓,采用重型多功能探針臺(tái)平臺(tái)制造,配置靈活多樣,具有加熱制冷晶圓夾盤chuck,體式顯微鏡,RF屏蔽箱等諸多配件可選擇,適合半導(dǎo)體器件探針臺(tái)測(cè)試和晶圓探針臺(tái)測(cè)試等多種應(yīng)用。
半自動(dòng)探針臺(tái)特色
電動(dòng)XY樣品夾盤,步進(jìn)電機(jī)高精度控制,電控Z軸運(yùn)動(dòng),可選配Theta角控制選項(xiàng)
適合低于0℃的測(cè)試應(yīng)用或者屏蔽RF的應(yīng)用
電動(dòng)樣品臺(tái),行程范圍200mm x 200mm
加載或卸載晶圓非常方便
精密電控XYZ樣品位移臺(tái)和電控臺(tái)板
可升級(jí)到半自動(dòng)探針控制功能(選配)
光滑的磁鐵臺(tái)板可支撐高達(dá)10個(gè)磁性或真空定位器
高質(zhì)量體式放大顯微鏡,工作距離高達(dá)200mm, LED照明,放大倍數(shù)3.5X~180X
適合連接微定位器,可定制BNC,Triax, DCpin 或RF鏈接接頭
標(biāo)準(zhǔn)的XYZ三維位移臺(tái)顯微鏡
可提供RF探針,RF卡盤,RF隔離箱等附件
半自動(dòng)探針臺(tái)規(guī)格參數(shù)
適合晶圓大小:200mm
電動(dòng)XY位移臺(tái): 行程范圍200mm x 200mm, 分辨率1.5um
電動(dòng)Z軸臺(tái): 行程12.5mm 或25mm可選, 分辨率高達(dá)400nm
Theta臺(tái): 電控或手動(dòng)控制可選, 分辨率可達(dá)0.01度
臺(tái)板:固定
臺(tái)板平面度:<+/-12.7um @150mm長(zhǎng)度
臺(tái)板剛度:<50um @4.5kg
樣品夾盤規(guī)格
真空:多區(qū)真空
平面度:+/-13um
(可根據(jù)客戶應(yīng)用要求,提供各種樣品夾盤)
顯微鏡:高質(zhì)量體式放大顯微鏡,工作距離高達(dá)200mm, 放大倍數(shù)范圍3.5X~180X
電學(xué)接頭:BNC, Triax, RF, Banana插頭
安裝要求:真空度<600Torr, CDA:60psi(僅適用于啟動(dòng)XY升級(jí)位移臺(tái))
整體尺寸: W78cm xD80cm x H58cm
凈重:85kg ~95kg (根據(jù)所選不同配件)
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