FPMIC-SPS-2000 進口分析探針臺
- 公司名稱 孚光精儀(中國)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 FPMIC-SPS-2000
- 產地 www.felles.cn/tanzhentai1.html
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2024/9/2 16:38:23
- 訪問次數(shù) 653
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這款手動型分析探針臺廣泛用作晶圓探針臺和RF探針臺,性價比高,配置靈活多樣,具有加熱型晶圓夾盤chuck,體式顯微鏡,RF屏蔽箱等諸多配件可選擇,適合實驗室半導體器件測試和晶圓探針臺測試應用。
手動型分析探針臺特色
手動操作樣品臺,行程范圍100mm x 100mm
加載或卸載晶圓非常方便
傳統(tǒng)的粗調和微調臺板設計,范圍12.7mm, 25mm或40mm可選
光滑的磁鐵臺板可支撐高達10個磁性或真空定位器
高質量體式放大顯微鏡,工作距離高達200mm, LED照明,放大倍數(shù)3.5X~180X
帶有相機接口
兩側帶有連接接口,適合連接微定位器,可定制BNC,Triax, DCpin 或RF鏈接接頭
標準的XYZ三維位移臺顯微鏡
可提供RF探針,RF卡盤,RF隔離箱等附件
手動型分析探針臺規(guī)格參數(shù)
適合晶圓大?。鹤罡?00mm
手動XY位移臺: 行程范圍100mm x 100mm, 分辨率5um
臺板行程:12.7mm 或更大,
臺板調整:帶有粗調和微調功能,重復精度+/-1.5um
臺板平面度:<+/-12.7um @150mm長度
臺板剛度:<5um @4.5kg
樣品夾盤規(guī)格
真空:多區(qū)真空
平面度:+/-13um
擊穿電壓:500V
隔離度:1G歐姆
調整:360度粗調, +/-6度微調
顯微鏡:高質量體式放大顯微鏡,工作距離高達200mm, 放大倍數(shù)范圍3.5X~180X
電學接頭:BNC, Triax, RF, Banana插頭
安裝要求:真空度<600Torr, CDA:60psi(僅適用于啟動XY升級位移臺)
整體尺寸: W78cm xD80cm x H58cm
凈重:85kg ~95kg (根據(jù)所選不同配件)