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FPMIC-SPS-1000 進(jìn)口手動(dòng)探針臺(tái)
- 公司名稱 孚光精儀(中國(guó))有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) FPMIC-SPS-1000
- 產(chǎn)地 www.felles.cn/tanzhentai1.html
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2024/9/2 16:36:51
- 訪問(wèn)次數(shù) 533
手動(dòng)探針臺(tái)探針臺(tái)探針臺(tái)價(jià)格進(jìn)口探針臺(tái)晶圓探針臺(tái)
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這款手動(dòng)探針臺(tái)適合150mm尺寸晶圓測(cè)試,是經(jīng)濟(jì)型探針臺(tái)但是具有昂貴探針臺(tái)的良好參數(shù)性能,結(jié)構(gòu)緊湊而方便使用,非常適合實(shí)驗(yàn)室半導(dǎo)體器件測(cè)試和電路測(cè)試應(yīng)用。
手動(dòng)探針臺(tái)適合特色
手動(dòng)操作樣品臺(tái),行程范圍100mm x 100mm 或150mm x 150mm可選
加載或卸載晶圓非常方便
傳統(tǒng)的粗調(diào)和微調(diào)臺(tái)板設(shè)計(jì),范圍12.7mm, 25mm或40mm可選
光滑的磁鐵臺(tái)板可支撐高達(dá)10個(gè)磁性或真空定位器
高質(zhì)量體式放大顯微鏡,工作距離高達(dá)200mm, LED照明,放大倍數(shù)3.5X~180X
帶有相機(jī)接口
兩側(cè)帶有連接接口,適合連接微定位器,可定制BNC,Triax, DCpin 或RF鏈接接頭
標(biāo)準(zhǔn)的XYZ三維位移臺(tái)顯微鏡
可提供RF探針,RF卡盤(pán),RF隔離箱等
手動(dòng)探針臺(tái)適合規(guī)格參數(shù)
適合晶圓大小:最高150mm (其它尺寸可提供)
XY位移臺(tái): 行程范圍100mm x 100mm 或150mm x 150mm可選,分辨率3um
臺(tái)板行程:12.7mm 或更大,
臺(tái)板調(diào)整:帶有粗調(diào)和微調(diào)功能,重復(fù)精度+/-1.5um
臺(tái)板平面度:<+/-12.7um @150mm長(zhǎng)度, 可選<+/-5um
臺(tái)板剛度:<5um @4.5kg
樣品卡盤(pán)規(guī)格
真空:3區(qū)真空
平面度:+/-13um (可選+/-3um)
擊穿電壓:500V
隔離度:1G歐姆
調(diào)整:360度粗調(diào), +/-6度微調(diào)
Z軸微調(diào):10mm, 1um分辨率
顯微鏡:高質(zhì)量體式放大顯微鏡,工作距離高達(dá)200mm, 放大倍數(shù)范圍3.5X~180X
電學(xué)接頭:BNC, Triax, RF, Banana插頭
安裝要求:真空度<600Torr, CDA:60psi(僅適用于啟動(dòng)XY升級(jí)位移臺(tái))
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