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SOPHI-400 離子注入機

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離子注入機

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半導(dǎo)體設(shè)備

產(chǎn)地類別 進口 應(yīng)用領(lǐng)域 能源

離子注入裝置SOPHI-400可以支持Max2400KeV的高能量離子注入裝置。

特長

·單葉式

·支持稀薄Wafer

·平行光束

用途

·功率器件等薄型基板工藝、IGBT工藝

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