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GEMINI Wafer Bonding Automated Production Wafer Bonding

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 GEMINI Wafer Bonding
  • 產地 奧地利
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2024/9/25 16:33:15
  • 訪問次數 849

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公司自成立以來就一直專注于半導體、微組裝和電子裝配等領域的設備集成和技術服務;目前公司擁有一支在半導體制造、微組裝及電子裝配等領域經驗豐富的專業(yè)技術團隊,專業(yè)服務于混合電路、光電模塊、MEMS、先進封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導體、微波器件、功率器件、紅外探測、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設備,還能根據客戶的實際生產需求制訂可行的工藝技術方案。
目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導體制造設備企業(yè)建立了良好的合作關系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶提供先進的設備和專業(yè)的技術服務打下了堅實基礎。

 

半導體設備,微組裝設備,LTCC設備,化工檢測設備

產地類別 進口 應用領域 電子/電池

GEMINI   Automated Production Wafer Bonding System

GEMINI 自動化生產晶圓鍵合系統(tǒng)

 

集成的模塊化大批量生產系統(tǒng),用于對準晶圓鍵合

 

GEMINI自動化生產晶圓鍵合系統(tǒng)可實現zui高水平的自動化和過程集成。批量生產的晶圓對晶圓對準和zui200毫米(300毫米)的晶圓鍵合工藝都在一個全自動平臺上執(zhí)行。器件制造商受益于產量增加,集成度高以及陽極,硅熔融,熱壓和共晶鍵合等多種鍵合工藝方法。

 

 

特征

全自動集成平臺,用于晶圓對晶圓對準和晶圓鍵合

底部,IRSmartView對齊的配置選項

多個粘接室

晶圓處理系統(tǒng)與鍵卡盤處理系統(tǒng)分開

帶有交換模塊的模塊化設計

結合了EVG精密對準儀和EVG 500系列系統(tǒng)的所有優(yōu)勢

與獨立系統(tǒng)相比,占用空間zui

可選的過程模塊:

LowTemp™等離子活化

晶圓清洗

外套模塊

紫外線粘合模塊

烘烤/冷卻模塊

對齊驗證模塊

 

技術數據

zui大加熱器尺寸:150、200、300毫米

裝載室5

軸機器人



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