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EVG 810LT Plasma Activa EVG 810LT LowTemp 等離子激活系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 EVG 810LT Plasma Activa
  • 產(chǎn)地 奧地利
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2024/9/25 16:48:33
  • 訪問次數(shù) 860

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公司自成立以來就一直專注于半導(dǎo)體、微組裝和電子裝配等領(lǐng)域的設(shè)備集成和技術(shù)服務(wù);目前公司擁有一支在半導(dǎo)體制造、微組裝及電子裝配等領(lǐng)域經(jīng)驗(yàn)豐富的專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì),專業(yè)服務(wù)于混合電路、光電模塊、MEMS、先進(jìn)封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導(dǎo)體、微波器件、功率器件、紅外探測、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領(lǐng)域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設(shè)備,還能根據(jù)客戶的實(shí)際生產(chǎn)需求制訂可行的工藝技術(shù)方案。
目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導(dǎo)體制造設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶提供先進(jìn)的設(shè)備和專業(yè)的技術(shù)服務(wù)打下了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

 

半導(dǎo)體設(shè)備,微組裝設(shè)備,LTCC設(shè)備,化工檢測設(shè)備

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 電子

EVG 810 LT  LowTemp™ Plasma Activation System

EVG 810LT   LowTemp™等離子激活系統(tǒng)

 

適用于SOI,MEMS,化合物半導(dǎo)體和先進(jìn)基板鍵合的低溫等離子體活化系統(tǒng)

 

技術(shù)數(shù)據(jù)

EVG810 LT LowTemp™等離子活化系統(tǒng)是具有手動操作的單腔獨(dú)立單元。 處理室允許進(jìn)行異位處理(晶圓被一一激活并結(jié)合在等離子體激活室外部)。

 

特征

表面等離子體活化,用于低溫粘結(jié)(熔融/分子和中間層粘結(jié))

晶圓鍵合機(jī)制中zui快的動力學(xué)

無需濕工藝

低溫退火(zui400°C)下的zui高粘結(jié)強(qiáng)度

適用于SOI,MEMS,化合物半導(dǎo)體和高級基板粘接

高度的材料兼容性(包括CMOS

 

EVG810 LT技術(shù)數(shù)據(jù)

晶圓直徑(基板尺寸):50-200、100-300毫米

LowTemp™等離子活化室

工藝氣體:2種標(biāo)準(zhǔn)工藝氣體(N2O2

通用質(zhì)量流量控制器:自校準(zhǔn)(高達(dá)20.000 sccm

真空系統(tǒng):9x10-2 mbar

腔室的打開/關(guān)閉:自動化

腔室的加載/卸載:手動(將晶圓/基板放置在加載銷上)

可選功能

卡盤適用于不同的晶圓尺寸

無金屬離子活化

混合氣體的其他工藝氣體

帶有渦輪泵的高真空系統(tǒng):9x10-3 mbar基本壓力

符合LowTemp™等離子活化粘結(jié)的材料系統(tǒng)

SiSi / SiSi / Si(熱氧化,Si(熱氧化)/ Si(熱氧化)

TEOS / TEOS(熱氧化)

絕緣體鍺(GeOI)的Si / Ge



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