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GEMINI FB Wafer Bonding GEMINI FB 自動化生產(chǎn)晶圓鍵合系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 GEMINI FB Wafer Bonding
  • 產(chǎn)地 奧地利
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2024/9/25 16:54:13
  • 訪問次數(shù) 1327

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公司自成立以來就一直專注于半導(dǎo)體、微組裝和電子裝配等領(lǐng)域的設(shè)備集成和技術(shù)服務(wù);目前公司擁有一支在半導(dǎo)體制造、微組裝及電子裝配等領(lǐng)域經(jīng)驗豐富的專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊,專業(yè)服務(wù)于混合電路、光電模塊、MEMS、先進(jìn)封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導(dǎo)體、微波器件、功率器件、紅外探測、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領(lǐng)域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設(shè)備,還能根據(jù)客戶的實際生產(chǎn)需求制訂可行的工藝技術(shù)方案。
目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導(dǎo)體制造設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶提供先進(jìn)的設(shè)備和專業(yè)的技術(shù)服務(wù)打下了堅實基礎(chǔ)。

 

半導(dǎo)體設(shè)備,微組裝設(shè)備,LTCC設(shè)備,化工檢測設(shè)備

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 電子

GEMINI  FB   Automated Production Wafer Bonding System

GEMINI FB  自動化生產(chǎn)晶圓鍵合系統(tǒng)

 

 

集成平臺可實現(xiàn)高精度對準(zhǔn)和熔合

 

技術(shù)數(shù)據(jù)

半導(dǎo)體器件的垂直堆疊已經(jīng)成為使器件密度和性能不斷提高的日益可行的方法。晶圓間鍵合是實現(xiàn)3D堆疊設(shè)備的重要工藝步驟。

EVGGEMINI FB XT集成熔合系統(tǒng)擴(kuò)展了當(dāng)前標(biāo)準(zhǔn),并結(jié)合了更高的生產(chǎn)率,更高的對準(zhǔn)度和覆蓋精度,適用于諸如存儲器堆疊,3D片上系統(tǒng)(SoC),背面照明CMOS圖像傳感器堆疊和芯片分割等應(yīng)用。該系統(tǒng)具有新的SmartView NT3鍵合對準(zhǔn)器,該鍵合對準(zhǔn)器是專門為<50 nm的熔融和混合晶片鍵合對準(zhǔn)要求而開發(fā)的。

 

 

特征

新型SmartView NT3面對面鍵合對準(zhǔn)器,晶片對晶片對準(zhǔn)精度低于50 nm

多達(dá)六個預(yù)處理模塊,例如:清潔模塊、LowTemp™等離子激活模塊、對齊驗證模塊、脫膠模塊、XT框架概念通過EFEM(設(shè)備前端模塊)實現(xiàn)zui高吞吐量

 

 

可選功能:脫膠模塊;熱壓粘合模塊;

 

 

技術(shù)數(shù)據(jù)

晶圓直徑(基板尺寸)

200300毫米



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