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化工儀器網>產品展廳>實驗室常用設備>恒溫/加熱/干燥>馬弗爐/電阻爐/實驗爐> 雙溫區(qū)PECVD(智能型)

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雙溫區(qū)PECVD(智能型)

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PECVD管式爐

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      安徽貝意克設備技術有限公司成立于2012年,基地位于安徽合肥,是一家集新材料設備研發(fā)、生產、銷售與技術服務于一體的高科技企業(yè)。

      公司重視技術攻關和產品研發(fā),建有超卓的產品研發(fā)中心,擁有一支由多名博士碩士組成的專業(yè)研發(fā)隊伍,累計獲得patent200余項。并通過產學研合作,與北京大學南開大學等多所院校建立聯合實驗室及研究生聯合培養(yǎng)基地
      公司專注于新材料裝備工藝開發(fā)及裝備制造,產品門類涵蓋了OLED材料提純專用設備系列、碳材料制備設備系列、半導體專用設備系列及金屬納米顆粒設備系列四大類共十余個子類,與眾多材料廠商、科研院校等保持長期合作關系,市場營銷網絡遍布全球各地。
      連年來,公司相繼被認定為“高新技術企業(yè)”“專精特新企業(yè)““科技小巨人培育企業(yè)”“石墨烯生長設備工程技術研究中心”“瞪羚企業(yè)”“雛鷹企業(yè)”,并接連獲得“中國隱形獨角獸500強”“科技創(chuàng)新獎”“創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)獎”等多項榮譽。

 

 

 

 

 

 

 

 

高溫管式爐,箱式爐,CVD系統,PECVD系統, 等離子清洗機,陶瓷材料燒結設備

產地類別 國產 價格區(qū)間 面議
儀器種類 管式爐 應用領域 環(huán)保,化工,能源,電子

 雙溫區(qū)PECVD(智能型)PECVD-II-500A高溫真空爐加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱,有利于爐內溫度場的均勻分布。高溫真空電阻爐溫度控制系統采用經典的閉環(huán)負反饋控制系統,控溫儀表選用智能型程序溫度調節(jié)儀表控溫,電力調制器控制;負載采用小電壓大電流控制,從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命,測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數,無須操作人員的干預,可自行根據不同溫度曲線的升、降溫要求調整輸出信號,同時系統設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能,大大降低了對操作人員經驗的要求,關鍵電氣元件采用優(yōu)質的進口產品,做到高性能、免維護,提高了設備質量的可靠性。              雙溫區(qū)PECVD(智能型)

 1、加熱系統

最高溫度

1200℃

使用溫度

≤1100℃

尺寸

Φ100mm(適用于2-3英寸樣品,爐管直徑可根據實際需要定制。)

爐膛材料

氧化鋁、高溫纖維制品

熱電偶類型

K型熱電偶

控溫精度

±1℃

控溫方式

30段可編程控溫,PID參數自整定,操作界面為7”工控電腦,內置PLC控制程序。

加熱長度

200+200mm

恒溫長度

100+100mm

加熱原件

電阻絲

供電電源

單相,220V,50Hz

2、PE射頻電源

功率輸出范圍

0W~500W

最大反射功率

100W

射頻輸出接口

50 Ω, N-type, female

功率穩(wěn)定度

≤5W

諧波分量

≤-50dbc

供電電壓

單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ

整機效率

>=70%

功率因素

>=90%

冷卻方式

強制風冷

3、三路質子流量控制系統

連接頭類型

雙卡套不銹鋼接頭

標準量程(N2)

50sccm,100sccm、500sccm(可根據用戶要求定制)

準確度

±1.5%F.S

線性

±1%F.S

重復精度

±0.2%F.S

響應時間

氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍

0.1~0.5 MPa

最大壓力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

顯示

4位數字顯示

工作環(huán)境溫度

5~45高純氣體

壓力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥

Φ6

內外雙拋不銹鋼管

Φ6

4、低真空機組

空氣相對濕度

≤85%

工作環(huán)境

5℃~40℃

工作電電壓

220V±10%  50~60HZ

功率

1KW

抽氣速率

10m3/h

極限真空

5X10-1Pa

工作壓力范圍

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25

噪音

50dB

連接方式

采用波紋管,手動擋板閥與波紋管相連




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