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前端預(yù)熱PECVD

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
產(chǎn)品標(biāo)簽

PECVD預(yù)熱管式爐

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      安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司成立于2012年,基地位于安徽合肥,是一家集新材料設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與技術(shù)服務(wù)于一體的高科技企業(yè)。

      公司重視技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā),建有超卓的產(chǎn)品研發(fā)中心,擁有一支由多名博士碩士組成的專業(yè)研發(fā)隊(duì)伍,累計(jì)獲得patent200余項(xiàng)。并通過產(chǎn)學(xué)研合作,與北京大學(xué)南開大學(xué)等多所院校建立聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室及研究生聯(lián)合培養(yǎng)基地
      公司專注于新材料裝備工藝開發(fā)及裝備制造,產(chǎn)品門類涵蓋了OLED材料提純專用設(shè)備系列、碳材料制備設(shè)備系列、半導(dǎo)體專用設(shè)備系列及金屬納米顆粒設(shè)備系列四大類共十余個(gè)子類,與眾多材料廠商、科研院校等保持長期合作關(guān)系,市場(chǎng)營銷網(wǎng)絡(luò)遍布全球各地。
      連年來,公司相繼被認(rèn)定為“高新技術(shù)企業(yè)”“專精特新企業(yè)““科技小巨人培育企業(yè)”“石墨烯生長設(shè)備工程技術(shù)研究中心”“瞪羚企業(yè)”“雛鷹企業(yè)”,并接連獲得“中國隱形獨(dú)角獸500強(qiáng)”“科技創(chuàng)新獎(jiǎng)”“創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)獎(jiǎng)”等多項(xiàng)榮譽(yù)。

 

 

 

 

 

 

 

 

高溫管式爐,箱式爐,CVD系統(tǒng),PECVD系統(tǒng), 等離子清洗機(jī),陶瓷材料燒結(jié)設(shè)備

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 面議
儀器種類 管式爐 應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,能源,電子

 PECVD-II-500A高溫真空爐加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導(dǎo)率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱,有利于爐內(nèi)溫度場(chǎng)的均勻分布。高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負(fù)反饋控制系統(tǒng),控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控溫,電力調(diào)制器控制;負(fù)載采用小電壓大電流控制,從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命,測(cè)溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù),無須操作人員的干預(yù),可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調(diào)整輸出信號(hào),同時(shí)系統(tǒng)設(shè)置了超溫、欠溫、斷偶報(bào)警保護(hù)功能,大大降低了對(duì)操作人員經(jīng)驗(yàn)的要求,關(guān)鍵電氣元件采用優(yōu)質(zhì)的進(jìn)口產(chǎn)品,做到高性能、免維護(hù),提高了設(shè)備質(zhì)量的可靠性。             前端預(yù)熱PECVD 前端預(yù)熱PECVD 

 1、加熱系統(tǒng)

最高溫度

1200℃

使用溫度

≤1100℃

尺寸

Φ100mm(適用于2-3英寸樣品,爐管直徑可根據(jù)實(shí)際需要定制。)

爐膛材料

氧化鋁、高溫纖維制品

熱電偶類型

K型熱電偶

控溫精度

±1℃

控溫方式

30段可編程控溫,PID參數(shù)自整定,操作界面為7”工控電腦,內(nèi)置PLC控制程序。

加熱長度

200+200mm

恒溫長度

100+100mm

加熱原件

電阻絲

供電電源

單相,220V,50Hz

2、PE射頻電源

功率輸出范圍

0W~500W

最大反射功率

100W

射頻輸出接口

50 Ω, N-type, female

功率穩(wěn)定度

≤5W

諧波分量

≤-50dbc

供電電壓

單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ

整機(jī)效率

>=70%

功率因素

>=90%

冷卻方式

強(qiáng)制風(fēng)冷

3、三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)

連接頭類型

雙卡套不銹鋼接頭

標(biāo)準(zhǔn)量程(N2)

50sccm,100sccm、500sccm(可根據(jù)用戶要求定制)

準(zhǔn)確度

±1.5%F.S

線性

±1%F.S

重復(fù)精度

±0.2%F.S

響應(yīng)時(shí)間

氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍

0.1~0.5 MPa

最大壓力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

顯示

4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度

5~45高純氣體

壓力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥

Φ6

內(nèi)外雙拋不銹鋼管

Φ6

4、低真空機(jī)組

空氣相對(duì)濕度

≤85%

工作環(huán)境

5℃~40℃

工作電電壓

220V±10%  50~60HZ

功率

1KW

抽氣速率

10m3/h

極限真空

5X10-1Pa

工作壓力范圍

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進(jìn)氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25

噪音

50dB

連接方式

采用波紋管,手動(dòng)擋板閥與波紋管相連




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