化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>薄膜生長設(shè)備>化學(xué)氣相沉積設(shè)備>DH-30-700 大華CVD化學(xué)氣相沉積碳鍍膜機(jī)
DH-30-700 大華CVD化學(xué)氣相沉積碳鍍膜機(jī)
- 公司名稱 蘇州大華爐業(yè)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 DH-30-700
- 產(chǎn)地 蘇州
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2021/10/25 8:44:40
- 訪問次數(shù) 274
高溫化學(xué)碳鍍膜機(jī)氣相沉積碳鍍膜機(jī)光學(xué)鏡片鍍膜機(jī)化學(xué)積碳鍍膜機(jī)鍍膜機(jī)
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,電子,交通 | 使用溫度 | 650℃ |
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使用氣氛 | 氮?dú)?、氬氣、空氣、二氧化碳、乙炔、甲烷、合氣體 | 真空泵真空度 | 極限真空1Pa |
整機(jī)功率 | 18KW |
大華CVD化學(xué)氣相沉積碳鍍膜機(jī)特點:
■ 采用多層隔板設(shè)計,批量處理模壓光學(xué)鏡片的碳鍍膜工藝,每爐可放數(shù)千個鏡片;
■ 智能化PLC程序升溫程序,真空程序,CVD進(jìn)氣程序,操作簡單方便;
■ 優(yōu)質(zhì)干式真空泵,杜絕油液污染,可選擇國產(chǎn)干式泵和進(jìn)口干式泵;
■ 智能化CVD進(jìn)氣控制系統(tǒng),適應(yīng)于氮?dú)?、乙?甲烷、氬氣、空氣的通入和混合;
■ *的密封系統(tǒng),泄漏率低,長期使用穩(wěn)定性高;
大華CVD化學(xué)氣相沉積碳鍍膜機(jī)詳細(xì)資料:
主要用途
■ 適用于模壓非球面光學(xué)玻璃鏡片的碳鍍膜工藝;
■ 適應(yīng)于半導(dǎo)體行業(yè)晶圓表面薄膜生長;
■ 可用于陶瓷及單晶體表面沉積碳納米管工藝;
產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號: DH-30-700(大華)
使用溫度:650℃;
使用氣氛: 氮?dú)?、氬氣、空氣、二氧化?/span>、乙炔、甲烷、合氣體;
長期使用:400-700℃;
波 動 度: ±1℃;
顯示精度: 0.1℃;
均 勻 度: 容積30L;
進(jìn)氣流量:三路MFC質(zhì)量流量計控制,一路浮子流量計控制;
升降系統(tǒng): 兩套伺服升降系統(tǒng)平臺;
控制系統(tǒng):智能程序化PLC控制系統(tǒng);
真空泵真空度: 極限真空1Pa;
腔內(nèi)真空度:≤10Pa;
降溫要求:外置冷卻風(fēng)機(jī),降溫階段強(qiáng)制降溫;
整機(jī)功率: 18KW;
電 源 : 380V, 50Hz;
水冷裝置:優(yōu)質(zhì)水冷機(jī),PLC聯(lián)機(jī)控制
保護(hù)裝置: 過載、過流、過壓保護(hù),接地,熱電偶異常報警,第二回路超溫報警保護(hù)裝置;冷卻水溫保護(hù),壓力過載保護(hù);
技術(shù)服務(wù): 提供設(shè)備使用過程中的技術(shù)咨詢和支持,接到客戶故障通知3個工作時內(nèi)立即響應(yīng)。