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微型PECVD系統(tǒng)

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產(chǎn)品標(biāo)簽

PECVD

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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司是一家代理國內(nèi)外儀器的經(jīng)銷及技術(shù)服務(wù)的專業(yè)公司。國內(nèi)管式爐,退火爐,氣氛爐,真空感應(yīng)熔煉爐,箱式爐,手套箱,研磨拋光機(jī),電池測試恒溫箱,金剛石線切割機(jī),磁控濺射儀,蒸發(fā)鍍膜,PECVD設(shè)備供應(yīng)商!

公司所涉及的產(chǎn)品遍布大專院校、科研單位、工廠企業(yè)、商檢、農(nóng)業(yè)、食品、超市、治金礦山、建筑、石油、路橋等行業(yè)。

主要產(chǎn)品:生命科學(xué)儀器,化學(xué)分析儀器,光學(xué)儀器,物性測試儀器及設(shè)備,環(huán)保設(shè)備/流量儀表,行業(yè)專用儀器,藥物檢測儀器,種子儀器,農(nóng)業(yè)和食品儀器,石油儀器,煤炭儀器,測繪儀表,建筑儀器,公路儀器,地質(zhì)儀器,電工儀器儀表,自動(dòng)化儀表,氣象儀器,環(huán)保儀器,電教器材,無線電儀器,小型機(jī)械等。并且提供與生物技術(shù)相關(guān)的實(shí)驗(yàn)室科研儀器設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室耗材與試劑、實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)、規(guī)劃、改建等服務(wù)。公司以“高品質(zhì),高服務(wù),高信譽(yù)”贏得各地市場,各個(gè)領(lǐng)域的好評和歡迎。

未來,公司將引進(jìn)和代理更多國內(nèi)產(chǎn)品,并將研發(fā)自有品牌的產(chǎn)品以滿足市場不同的需求,以更高質(zhì)量的產(chǎn)品,更高質(zhì)量的服務(wù),更高效率的運(yùn)營,樸素而先進(jìn)的管理理念,為客戶提供更優(yōu)良的產(chǎn)品和服務(wù)!

公司宗旨:客戶至上 誠信為本 開拓創(chuàng)新 成就*




紫外可見分光光度計(jì),原子熒光光度計(jì),原子吸收分光光度計(jì),紫外分光光度計(jì),氣相色譜儀,液相色譜儀,電子天平,旋光儀,熔點(diǎn)儀

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,電子
溫控方面 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,同時(shí)可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為:+/-1℃
    等離子源:

    等離子體射頻電源:110V或220VAC,50/60Hz,<100W

    輸出頻率:13.56MHz

    三檔射頻功率大?。?.2W.10.5W和18W(可調(diào)節(jié))

    腔體尺寸:3"ODx2.7"IDx16"L

    儀器中帶有一套不銹鋼密封法蘭使得腔體內(nèi)部的真空度為10^-2torr(用機(jī)械泵)

    滑動(dòng)法蘭:

    •有一滑軌法蘭安裝于移動(dòng)架上,以便于樣品的放入和取出。

    樣品可以放入加熱線圈內(nèi),以達(dá)到更好的加熱效率和溫度的均勻性。

    •加熱圈尺寸:50mmODx40mmIDx70mm,可使樣品達(dá)到的溫度為400℃

    •加熱圈上套有一2"IDx75mmL的石英罩,以減小熱量損失

    •溫控方面:采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,同時(shí)可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為:+/-1℃

    輸入電源:AC220V

image.png 

    兩通道混氣系統(tǒng):

    •混氣箱上安裝有兩個(gè)浮子流量計(jì),其量程為10-100SCCM

    •三個(gè)機(jī)械壓力表:-0.1-0.15MPa,

    •混氣箱上安裝有304不銹鋼針閥

    •配有三根1/4"的聚四氟乙烯管

    •混氣箱尺寸:340Lx300Dx180H,mm(13.4"x12"x7")!

    凈重:141bs.

    真空和氣體接口:

    標(biāo)準(zhǔn)的真空配置有

    •一套3”的不銹鋼法蘭(上面安裝有KF-25的真空泵接口,一個(gè)1/4"卡套接頭和不銹鋼針閥)

    •一根KF25的波紋管(長度為1m)和三KF25卡箍

    •一個(gè)數(shù)字式真空顯示計(jì)

    •等離子腔體中可以通入多種惰性性氣體,如N2,Ar,Air,以及各種混合性氣體。

    •可以調(diào)整腔體內(nèi)的壓力或是進(jìn)氣流量,確保等離子體達(dá)到樣品處

    (注意:不可通入易燃易爆性氣體)

    真空泵:

    •儀器中配有一雙旋機(jī)械真空泵,其抽氣速率為120L/min,

    進(jìn)氣口為KF25接口,可以使腔體內(nèi)真空度小于30mTorr

    移動(dòng)架:

    設(shè)備中配有—600Lx600Wx600H(mm)的移動(dòng)架,整個(gè)CVD系統(tǒng)可以安置于其上面

    儀器尺寸:

    •等離子源:8.5"Hx10"Wx8"D

    •溫控盒:4"Hx10"Wx8"D

    移動(dòng)架:600x600x600mm

    重量:

    701b(包含真空泵)

    質(zhì)保期:

    一年質(zhì)保期(不包含石英管和密封圈)


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