微型PECVD系統(tǒng)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/3/13 9:43:58
- 訪問次數(shù) 2635
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紫外可見分光光度計(jì),原子熒光光度計(jì),原子吸收分光光度計(jì),紫外分光光度計(jì),氣相色譜儀,液相色譜儀,電子天平,旋光儀,熔點(diǎn)儀
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子 |
---|---|---|---|
溫控方面 | 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,同時(shí)可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為:+/-1℃ |
等離子源:
等離子體射頻電源:110V或220VAC,50/60Hz,<100W
輸出頻率:13.56MHz
三檔射頻功率大?。?.2W.10.5W和18W(可調(diào)節(jié))
腔體尺寸:3"ODx2.7"IDx16"L
儀器中帶有一套不銹鋼密封法蘭使得腔體內(nèi)部的真空度為10^-2torr(用機(jī)械泵)
滑動(dòng)法蘭:
•有一滑軌法蘭安裝于移動(dòng)架上,以便于樣品的放入和取出。
樣品可以放入加熱線圈內(nèi),以達(dá)到更好的加熱效率和溫度的均勻性。
•加熱圈尺寸:50mmODx40mmIDx70mm,可使樣品達(dá)到的溫度為400℃
•加熱圈上套有一2"IDx75mmL的石英罩,以減小熱量損失
•溫控方面:采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,同時(shí)可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為:+/-1℃
輸入電源:AC220V
•混氣箱上安裝有兩個(gè)浮子流量計(jì),其量程為10-100SCCM
•三個(gè)機(jī)械壓力表:-0.1-0.15MPa,
•混氣箱上安裝有304不銹鋼針閥
•配有三根1/4"的聚四氟乙烯管
•混氣箱尺寸:340Lx300Dx180H,mm(13.4"x12"x7")!
凈重:141bs.
真空和氣體接口:
標(biāo)準(zhǔn)的真空配置有
•一套3”的不銹鋼法蘭(上面安裝有KF-25的真空泵接口,一個(gè)1/4"卡套接頭和不銹鋼針閥)
•一根KF25的波紋管(長度為1m)和三KF25卡箍
•一個(gè)數(shù)字式真空顯示計(jì)
•等離子腔體中可以通入多種惰性性氣體,如N2,Ar,Air,以及各種混合性氣體。
•可以調(diào)整腔體內(nèi)的壓力或是進(jìn)氣流量,確保等離子體達(dá)到樣品處
(注意:不可通入易燃易爆性氣體)
真空泵:
•儀器中配有一雙旋機(jī)械真空泵,其抽氣速率為120L/min,
進(jìn)氣口為KF25接口,可以使腔體內(nèi)真空度小于30mTorr
移動(dòng)架:
設(shè)備中配有—600Lx600Wx600H(mm)的移動(dòng)架,整個(gè)CVD系統(tǒng)可以安置于其上面
儀器尺寸:
•等離子源:8.5"Hx10"Wx8"D
•溫控盒:4"Hx10"Wx8"D
移動(dòng)架:600x600x600mm
重量:
701b(包含真空泵)
質(zhì)保期:
一年質(zhì)保期(不包含石英管和密封圈)
等離子體射頻電源:110V或220VAC,50/60Hz,<100W
輸出頻率:13.56MHz
三檔射頻功率大?。?.2W.10.5W和18W(可調(diào)節(jié))
腔體尺寸:3"ODx2.7"IDx16"L
儀器中帶有一套不銹鋼密封法蘭使得腔體內(nèi)部的真空度為10^-2torr(用機(jī)械泵)
滑動(dòng)法蘭:
•有一滑軌法蘭安裝于移動(dòng)架上,以便于樣品的放入和取出。
樣品可以放入加熱線圈內(nèi),以達(dá)到更好的加熱效率和溫度的均勻性。
•加熱圈尺寸:50mmODx40mmIDx70mm,可使樣品達(dá)到的溫度為400℃
•加熱圈上套有一2"IDx75mmL的石英罩,以減小熱量損失
•溫控方面:采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,同時(shí)可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為:+/-1℃
輸入電源:AC220V
•混氣箱上安裝有兩個(gè)浮子流量計(jì),其量程為10-100SCCM
•三個(gè)機(jī)械壓力表:-0.1-0.15MPa,
•混氣箱上安裝有304不銹鋼針閥
•配有三根1/4"的聚四氟乙烯管
•混氣箱尺寸:340Lx300Dx180H,mm(13.4"x12"x7")!
凈重:141bs.
真空和氣體接口:
標(biāo)準(zhǔn)的真空配置有
•一套3”的不銹鋼法蘭(上面安裝有KF-25的真空泵接口,一個(gè)1/4"卡套接頭和不銹鋼針閥)
•一根KF25的波紋管(長度為1m)和三KF25卡箍
•一個(gè)數(shù)字式真空顯示計(jì)
•等離子腔體中可以通入多種惰性性氣體,如N2,Ar,Air,以及各種混合性氣體。
•可以調(diào)整腔體內(nèi)的壓力或是進(jìn)氣流量,確保等離子體達(dá)到樣品處
(注意:不可通入易燃易爆性氣體)
真空泵:
•儀器中配有一雙旋機(jī)械真空泵,其抽氣速率為120L/min,
進(jìn)氣口為KF25接口,可以使腔體內(nèi)真空度小于30mTorr
移動(dòng)架:
設(shè)備中配有—600Lx600Wx600H(mm)的移動(dòng)架,整個(gè)CVD系統(tǒng)可以安置于其上面
儀器尺寸:
•等離子源:8.5"Hx10"Wx8"D
•溫控盒:4"Hx10"Wx8"D
移動(dòng)架:600x600x600mm
重量:
701b(包含真空泵)
質(zhì)保期:
一年質(zhì)保期(不包含石英管和密封圈)
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