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自動(dòng)/半自動(dòng) 半導(dǎo)體晶圓清洗機(jī)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
產(chǎn)品標(biāo)簽

清洗機(jī)晶圓清洗

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上海茸晶半導(dǎo)體科技有限公司是一家以半導(dǎo)體設(shè)備(研磨減薄、切割加工)以及耗材的研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售和服務(wù)為主的企業(yè),本公司本著誠(chéng)信為本,客戶至上的經(jīng)營(yíng)宗旨,憑著專業(yè)的技術(shù)和優(yōu)質(zhì)的服務(wù),得到了廣大客戶的好評(píng)信賴。在眾多業(yè)界同行有客戶的支持下,在全體員工的共同努力下,公司在近幾年內(nèi)得到了飛速的發(fā)展。


  主營(yíng)產(chǎn)品:

1.磨、劃片配套耗材類

A.保護(hù)膜類

    日東(NITTO)藍(lán)/白膜、日本獅力昴UV膜、日本電化(DENKA UV膜、日本拓禾(TonicUV膜、硅晶圓減薄工序,用來(lái)剝離研磨膠帶的揭膜膠帶(中國(guó)臺(tái)灣產(chǎn))

B.劃片刀及磨刀板

韓國(guó)高迪士(KODIS)、日本旭金鋼(Asahi)、日本東京精密(ACCRETECH)、日本DISCO部分型號(hào))

以上各品牌劃片刀的再生,軟刀角度的修整

C.研磨輪及修磨板

   硅片減薄、拋光用

D.劃片、測(cè)試用DUMMY WAFER

6/8/12寸各種厚度(假片、硅片、光刻片)

E.晶棒分割,晶圓劃片、晶圓清洗時(shí)所用的切割冷卻添加劑(新加坡產(chǎn))

2.設(shè)備類

膜類設(shè)備(貼膜機(jī)、剝膜機(jī)、擴(kuò)膜機(jī))、晶圓清洗機(jī)、CO2發(fā)生器,UV照射機(jī)

繃環(huán)更換機(jī)(用于劃片結(jié)束后帶繃環(huán)出貨時(shí),將產(chǎn)品的鐵環(huán)更換成塑料崩環(huán))

可根據(jù)客戶要求,進(jìn)行設(shè)計(jì)加工各類非標(biāo)設(shè)備

3.工裝夾具類

不銹鋼繃環(huán),塑料繃環(huán),各類QFN繃環(huán),擴(kuò)晶環(huán),提籃,晶舟,酸洗籃,

可根據(jù)客戶需求,進(jìn)行設(shè)計(jì)加工各類工裝夾具

4.封裝用材料

LED封裝用螢光粉(日本產(chǎn))

5.包裝、運(yùn)輸材料

硅片圓盒、卡槽,晶圓放置盒/運(yùn)輸盒、電子部品包裝用載帶及蓋帶(DENKA

6.備件及機(jī)器維修,翻新,二手設(shè)備買(mǎi)賣(mài)

二手劃片機(jī)及減薄機(jī)買(mǎi)賣(mài)、劃片機(jī)/減薄機(jī)備件(控制板、刀架,防水簾,工作盤(pán))、主軸維修、陶瓷盤(pán)翻新

 

手動(dòng)貼膜機(jī),半自動(dòng)擴(kuò)膜機(jī),半自動(dòng)剝膜機(jī),UV照射機(jī),崩環(huán)轉(zhuǎn)換機(jī)

價(jià)格區(qū)間 面議 應(yīng)用領(lǐng)域 電子

 

技術(shù)規(guī)格窗體底端

序號(hào)

內(nèi)

數(shù)

1

額定電壓

AC 220V

2

頻率

50HZ

3

工作滿載電流

30A

4

動(dòng)力電源線

2.52以上

5

純凈水壓力

0.25Mpa

6

壓縮空氣壓力

0.6Mpa以上

7

主軸轉(zhuǎn)速

400r/min~3000 r/min

8

清洗時(shí)間

5s~999s

9

氮?dú)獾墓┙o壓力

0.5Mpa以上

10

整機(jī)尺寸

900mm*500mm*1200mm

11

芯片規(guī)格

8,12

12

清洗功能

全自動(dòng)式

13

保護(hù)接地電阻

小于

1. 自動(dòng)清洗系統(tǒng)
  . 自動(dòng)化的晶圓切割后清洗設(shè)備,具有高效率與多功
    能的清洗能力,可輕易地清除晶圓表面及切割道內(nèi)所殘留的
    廢屑。
2. *的清洗方式
  . 提供高效率的重復(fù)清洗方式,利用二流體的高壓氣加
    上細(xì)粒水珠,可輕易移除微細(xì)切溝內(nèi)的殘屑,提供專業(yè)清洗
    效果。清洗后的高效率吹乾流程,使晶圓表面毫無(wú)水分殘留
    ,便利下制程之運(yùn)行。
3. PLC程控操作
  . 芯片清洗機(jī)是透過(guò)人機(jī)界面以邏輯式微處理器來(lái)控制
    。舉凡:工作盤(pán)的轉(zhuǎn)速、二流體噴灑范圍、速度、時(shí)間或是
    重復(fù)清洗次數(shù)、吹乾次數(shù)等各種不同的操作參數(shù),都很容易
    輸入系統(tǒng),也可從記憶組內(nèi)選出設(shè)置。
4. 特性:
  . 可程序控制器加中文顯示板
  . 可清洗88寸以下的芯片,并可依使用者需求提供非標(biāo)準(zhǔn)工作
    盤(pán)
  . 內(nèi)建真空產(chǎn)生器與自動(dòng)排水裝置
  . 使用二流體嘴加強(qiáng)洗凈效果
  . 可選用純氮?dú)馐降那搴蟠登鞒?/span>
5. 技術(shù)規(guī)范  
  . 純水壓力:MAX. 0.2 Mpa 2 /cm2,進(jìn)水管為¢8.
  . 電力供應(yīng):220 VAC   50 HZ
  . 空氣壓力:MAX. 0.50.6 Mpa 5 ~ 6 /cm2,進(jìn)氣管均為¢8
  . 消耗電力:1.8 KVA
  . 純水消耗量:MAX. 0.2 liter/min
6. 尺寸:900 x 500 x 1500
7. 空氣消耗量:MAX. 200 NL/min
8. 重量:約80

●WATER-AIR二流體霧狀清洗:采用水空氣相結(jié)合的二流體注入噴氣式霧狀清洗,它能把IC凹槽邊緣殘屑濺射起而帶走,從而達(dá)到*清潔的效果
洗清盤(pán)適用于6“8” 、WAFER RING,膜使用真空吸附而更為平整,清洗效果更佳
清洗機(jī)架是用不銹鋼做成的,其余部份是采用高質(zhì)鋁合金
具有良好的靜電保護(hù)措施
根據(jù)客戶要求可設(shè)計(jì)為玻璃、基板、陶瓷等物件的清洗

 

 

 



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