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VTC-600-2HD-1000 雙靶磁控濺射儀

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磁控濺射磁控濺射儀

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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司是一家代理國(guó)內(nèi)外儀器的經(jīng)銷及技術(shù)服務(wù)的專業(yè)公司。國(guó)內(nèi)管式爐,退火爐,氣氛爐,真空感應(yīng)熔煉爐,箱式爐,手套箱,研磨拋光機(jī),電池測(cè)試恒溫箱,金剛石線切割機(jī),磁控濺射儀,蒸發(fā)鍍膜,PECVD設(shè)備供應(yīng)商!

公司所涉及的產(chǎn)品遍布大專院校、科研單位、工廠企業(yè)、商檢、農(nóng)業(yè)、食品、超市、治金礦山、建筑、石油、路橋等行業(yè)。

主要產(chǎn)品:生命科學(xué)儀器,化學(xué)分析儀器,光學(xué)儀器,物性測(cè)試儀器及設(shè)備,環(huán)保設(shè)備/流量?jī)x表,行業(yè)專用儀器,藥物檢測(cè)儀器,種子儀器,農(nóng)業(yè)和食品儀器,石油儀器,煤炭?jī)x器,測(cè)繪儀表,建筑儀器,公路儀器,地質(zhì)儀器,電工儀器儀表,自動(dòng)化儀表,氣象儀器,環(huán)保儀器,電教器材,無線電儀器,小型機(jī)械等。并且提供與生物技術(shù)相關(guān)的實(shí)驗(yàn)室科研儀器設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室耗材與試劑、實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)、規(guī)劃、改建等服務(wù)。公司以“高品質(zhì),高服務(wù),高信譽(yù)”贏得各地市場(chǎng),各個(gè)領(lǐng)域的好評(píng)和歡迎。

未來,公司將引進(jìn)和代理更多國(guó)內(nèi)產(chǎn)品,并將研發(fā)自有品牌的產(chǎn)品以滿足市場(chǎng)不同的需求,以更高質(zhì)量的產(chǎn)品,更高質(zhì)量的服務(wù),更高效率的運(yùn)營(yíng),樸素而先進(jìn)的管理理念,為客戶提供更優(yōu)良的產(chǎn)品和服務(wù)!

公司宗旨:客戶至上 誠(chéng)信為本 開拓創(chuàng)新 成就*




紫外可見分光光度計(jì),原子熒光光度計(jì),原子吸收分光光度計(jì),紫外分光光度計(jì),氣相色譜儀,液相色譜儀,電子天平,旋光儀,熔點(diǎn)儀

應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,交通
    雙靶磁控濺射儀主要特點(diǎn):

    1、配置兩個(gè)靶槍,一個(gè)配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜,一個(gè)配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜。

    2、可制備多種薄膜,應(yīng)用廣泛。

    3、體積小,操作簡(jiǎn)便。

    技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱 VTC-600-1HD單靶磁控濺射儀
產(chǎn)品型號(hào) VTC-600-1HD
安裝條件 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)(加注純凈水或者去離子水)
2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地
3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶Ø6mm雙卡套接頭)及減壓閥
4、工作臺(tái):尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上
5、通風(fēng)裝置:需要
主要參數(shù) 1、輸入電源:220V/50Hz
2、濺射靶數(shù)量:2
3、靶槍冷卻方式:水冷
4、極限真空度:7.4E-5pa
5、真空室規(guī)格:Φ300×330 mm
6、真空系統(tǒng):VRD-16機(jī)械泵 FF-100/150渦輪分子泵
7、恢復(fù)真空:系統(tǒng)從大氣抽至5.0E-3pa≤30 min(系統(tǒng)短時(shí)間暴露大氣)
8、充氣系統(tǒng):2路質(zhì)量流量計(jì)(1路氬氣100scc、2路氬氣200scc)特殊氣體可定制
9、濺射靶規(guī)格:Φ2",厚度0.1-5mm(因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同)
10、樣品臺(tái):Φ140mm/可旋轉(zhuǎn)(1~20rpm)/可加熱(室溫~1000℃)
產(chǎn)品規(guī)格 主機(jī)尺寸:寬900mm×深650mm×高1100mm

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