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GSL-CKJS-560-B2 磁控濺射

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磁控濺射磁控濺射儀

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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司是一家代理國(guó)內(nèi)外儀器的經(jīng)銷及技術(shù)服務(wù)的專業(yè)公司。國(guó)內(nèi)管式爐,退火爐,氣氛爐,真空感應(yīng)熔煉爐,箱式爐,手套箱,研磨拋光機(jī),電池測(cè)試恒溫箱,金剛石線切割機(jī),磁控濺射儀,蒸發(fā)鍍膜,PECVD設(shè)備供應(yīng)商!

公司所涉及的產(chǎn)品遍布大專院校、科研單位、工廠企業(yè)、商檢、農(nóng)業(yè)、食品、超市、治金礦山、建筑、石油、路橋等行業(yè)。

主要產(chǎn)品:生命科學(xué)儀器,化學(xué)分析儀器,光學(xué)儀器,物性測(cè)試儀器及設(shè)備,環(huán)保設(shè)備/流量?jī)x表,行業(yè)專用儀器,藥物檢測(cè)儀器,種子儀器,農(nóng)業(yè)和食品儀器,石油儀器,煤炭?jī)x器,測(cè)繪儀表,建筑儀器,公路儀器,地質(zhì)儀器,電工儀器儀表,自動(dòng)化儀表,氣象儀器,環(huán)保儀器,電教器材,無(wú)線電儀器,小型機(jī)械等。并且提供與生物技術(shù)相關(guān)的實(shí)驗(yàn)室科研儀器設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室耗材與試劑、實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)、規(guī)劃、改建等服務(wù)。公司以“高品質(zhì),高服務(wù),高信譽(yù)”贏得各地市場(chǎng),各個(gè)領(lǐng)域的好評(píng)和歡迎。

未來(lái),公司將引進(jìn)和代理更多國(guó)內(nèi)產(chǎn)品,并將研發(fā)自有品牌的產(chǎn)品以滿足市場(chǎng)不同的需求,以更高質(zhì)量的產(chǎn)品,更高質(zhì)量的服務(wù),更高效率的運(yùn)營(yíng),樸素而先進(jìn)的管理理念,為客戶提供更優(yōu)良的產(chǎn)品和服務(wù)!

公司宗旨:客戶至上 誠(chéng)信為本 開(kāi)拓創(chuàng)新 成就*




紫外可見(jiàn)分光光度計(jì),原子熒光光度計(jì),原子吸收分光光度計(jì),紫外分光光度計(jì),氣相色譜儀,液相色譜儀,電子天平,旋光儀,熔點(diǎn)儀

應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,文體,電子

主要特點(diǎn):

1、真空度高。
2、可制備多種薄膜,金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等,應(yīng)用廣泛。
3、體積小,操作簡(jiǎn)便。
4、清理安裝便捷。
5、控制可選一體化觸摸屏控制

技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱GSL-CKJS-450-B1磁控濺射
安裝條件本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)(加注純凈水或者去離子水)
2、電:AC380V 50Hz,必須有良好接地
3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氮/氬氣(純度99.99%以上),需自備實(shí)驗(yàn)氣體氣瓶(自帶?10mm雙卡套接頭)及減壓閥
4、場(chǎng)地:設(shè)備尺寸3500×1600mm,承重1000kg以上
5、通風(fēng)裝置:需要
主要參數(shù)
1、主濺射室尺寸:?560×355mm梨形真空室
2、主濺射室真空度:5×10-6Pa
3、進(jìn)樣室尺寸: ?255×430mm
4、進(jìn)樣室真空度:5×10-4Pa
5、永磁靶5套,靶材尺寸φ2″,各靶射頻與直流濺射兼容(其中1個(gè)靶可濺射鐵磁材料)
6、公轉(zhuǎn)樣品臺(tái)6個(gè)工位,5個(gè)水冷工位,1個(gè)加熱工位,加熱工位最高溫度 600℃±1℃
7、樣品尺寸:φ1″,可放置6片
8、基片可加-200V負(fù)偏壓
9、進(jìn)樣室可一次性安裝6片樣品,可對(duì)被鍍樣品進(jìn)行退火處理,退火溫度 800℃±1℃
10、進(jìn)樣室可對(duì)基片進(jìn)行反濺清洗
11、進(jìn)樣室和主濺射室之間通過(guò)磁力樣品機(jī)構(gòu)進(jìn)行樣品傳遞
產(chǎn)品規(guī)格

整機(jī)尺寸:2700×900mm×2000mm。

標(biāo)準(zhǔn)配件1、電源控制系統(tǒng)1套
2、真空獲得系統(tǒng)1套
3、真空測(cè)量裝置1套


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