PCE-6 小型-等離子清洗機(jī)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱(chēng) 上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) PCE-6
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/10/24 14:34:04
- 訪問(wèn)次數(shù) 2338
產(chǎn)品標(biāo)簽
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紫外可見(jiàn)分光光度計(jì),原子熒光光度計(jì),原子吸收分光光度計(jì),紫外分光光度計(jì),氣相色譜儀,液相色譜儀,電子天平,旋光儀,熔點(diǎn)儀
產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
---|---|---|---|
儀器種類(lèi) | 通用型 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子 |
PCE-6小型等離子清洗機(jī)的等離子腔體為Ø160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率為3.0MHz(1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機(jī)主要是通過(guò)空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來(lái)去除基片上的氧化層和污染物,同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。PCE-6小型等離子清洗機(jī)體積小,占用的空間少,可有效節(jié)約實(shí)驗(yàn)室空間。PCE-6小型等離子清洗機(jī)配有一個(gè)雙旋真空泵,可對(duì)腔體進(jìn)行抽真空,同時(shí)通入氬氣等氣體,適用于對(duì)易氧化的物品的清洗。1、通過(guò)控制面板的按鍵及開(kāi)關(guān),可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開(kāi)閉、清洗時(shí)間。
2、時(shí)間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上。
3、設(shè)有一個(gè)三通閥,可精確控制進(jìn)氣流量,以及大氣流清洗腔體,進(jìn)氣接口為6mm卡套接口。
4、選用大功率射頻電源設(shè)備可進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化實(shí)驗(yàn)。
2、時(shí)間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上。
3、設(shè)有一個(gè)三通閥,可精確控制進(jìn)氣流量,以及大氣流清洗腔體,進(jìn)氣接口為6mm卡套接口。
4、選用大功率射頻電源設(shè)備可進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化實(shí)驗(yàn)。
產(chǎn)品名稱(chēng) | PCE-6小型等離子清洗機(jī) | |
產(chǎn)品型號(hào) | PCE-6 | |
主要參數(shù) | 1、電源:AC220V 50/60Hz | |
2、輸出功率:7.2W、10.2W、29.6W | ||
3、真空泵功率:<500W | ||
4、總功率:<600W | ||
5、射頻頻率:3.0MHz,功率3檔可手動(dòng)調(diào)節(jié) | ||
6、等離子腔體:高純石英腔體Ø160mm×190mm,采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行密封,法蘭上設(shè)有Ø45mm的觀察窗 | ||
7、真空泵:120L/min,直連式雙旋真空泵 | ||
8、極限真空度:50mtorr | ||
9、通入氣體:可通入多種氣體來(lái)產(chǎn)生等離子,如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等(根據(jù)材料性質(zhì)選定) | ||
清洗及蝕刻 | ||
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:400mm×300mm×300mm | |
重量:10.2kg | ||
可選配件 | 1、2"-6"石英舟(盛放基片) | |
2、2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng) |