FOM alphaSC 狹縫涂布機產品特點

• 豐富的可選配置以適應客戶的需求：

• 涂布頭定位傳感器

• 高清攝像頭用于監(jiān)控涂布過程

• 多種固化功能（紅外、紫外、熱風、氮氣風刀）

• A4 及更大面積的真空吸盤

• 涂布頭的常規(guī)材料為不銹鋼。可選其他材料和合金（玻璃、鎢、鈦）。

• 金屬涂布頭表面可進行Tantaline耐腐蝕涂層處理

• 涂布頭溫度在0-80℃內可控

• 注射泵溫度可控

• 可與多種涂布方式聯(lián)用：如噴墨、微型凹版印刷、刮刀涂布等。

設計

直觀便捷的操作界面使得用戶得以自由的設計涂布工藝配方。涂布橋架經優(yōu)化設計，以實現(xiàn)精確安裝和涂布頭的快速定位；經減震的真空樣品臺則為基片提供一個平整的剛性支撐；樣品臺在精密軌道上以設定速度移動，從而實現(xiàn)功能材料的精密涂布。綜合諸多細節(jié)全盤考慮和不斷優(yōu)化才可能成功建立起一個穩(wěn)定可靠的多功能研發(fā)平臺。各涂布元件的有機整合保證了多個涂布批次間的高可重復性，器件性能的高可比性 ，以及產品質量的高穩(wěn)定性。

機械素質

該系統(tǒng)可選擇手動或自動定位涂布，以及手動或電機控制的自動高度和側移調整，分辨率為1µm。涂布速度在0.05到5.0m/min之間（無極調整）。平行度設置和涂布頭平直度<1%，保證材料涂布時的精確度。交叉定位精度<100µm。涂布頭多次拆裝維護后依然可保證高度（涂布頭與基材間隙）可重復性，從而保障批次可重復性。Metapor (TM) 真空吸盤面積為大于A4尺寸；平整度優(yōu)于20µm；加熱溫度可達150℃，全表面溫度均勻性可達<1℃。

易于實驗重復和配方調用

該系統(tǒng)使用戶可以以高度可控，可預測的方式進行高精度功能薄膜的重復涂布，幫助研究人員深入理解精密涂布過程中的各種變量。