奕葉探針臺BD系列

一、顯微鏡操控規(guī)格:

l 在探針臺右側(cè)有大搖桿，提起90度后，可以使顯微鏡快速傾仰抬起，方便在測試時(shí)更換物鏡鏡頭。

l 顯微鏡后側(cè)有X/Y軸調(diào)節(jié)小搖輪，可調(diào)節(jié)顯微鏡在x-y方向的移動(dòng)，移動(dòng)范圍2"X2"，精度1μm。

l 顯微鏡Z軸帶有調(diào)焦粗旋鈕和細(xì)旋鈕，粗旋鈕方便快速調(diào)焦,細(xì)旋鈕方便調(diào)焦，使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm，移動(dòng)精度1μm。

二、臺面規(guī)格:

l 探針臺臺面平整度：5μm

l 探針臺左側(cè)有搖杠可以控制臺面快速上下升降6mm。在探針臺加裝探針卡點(diǎn)測wafer時(shí)方便對die的重選擇

l 探針臺右上方有轉(zhuǎn)輪搖桿，搖動(dòng)時(shí)可使臺面線性上下升降，升降范圍25mm，精度1μm。在探針臺加裝探針卡點(diǎn)測wafer時(shí)方便對die的復(fù)位

三、卡盤（載物臺，即圖中的chuck）規(guī)格:

l 6" 卡盤，卡盤平整度：5μm，采用真空吸附方式吸附，帶真空吸附孔，中心孔徑250μm-1mm（可根據(jù)客戶需求定制孔徑大?。?，小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm，能夠吸住尺寸為6"X6"

l 卡盤可360度旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào)，微調(diào)精度為0.1度，帶角度鎖定旋

l 卡盤X，Y軸調(diào)節(jié)旋鈕可以控制卡盤做X-Y方向的移動(dòng)，移動(dòng)范圍為6"X6"，移動(dòng)精度為1μm，為方便點(diǎn)測的穩(wěn)定性，帶有鎖住功能。如果點(diǎn)測6"wafer的時(shí)候，可以6"wafer的每一點(diǎn)都能夠點(diǎn)測到

四、總體規(guī)格：

 l 重量：50kg（含顯微鏡）

l 尺寸：590mm寬*500mm長*700mm高（含顯微鏡）

l 優(yōu)化的人體工學(xué)設(shè)計(jì)，便于工程師長時(shí)間舒適的操作

五、性能

l 鍍金真空吸附卡盤: 對應(yīng)可選4" ，6"，8"，12"產(chǎn)品

l 大旋鈕移動(dòng)卡盤臺，X-Y方向行程：6"-6"

l 卡盤快速拉出裝置便于放置/拿去樣品

l 線性無回差調(diào)節(jié)

l 臺面快速升/降行程：6mm，精調(diào)升/降行程：25mm

l 樣品尺寸: 5x5mm ~ 4" 6", 8", 12"

l 卡盤平整度: 10um

l 卡盤旋轉(zhuǎn)角度：0~360°

l Chuck Theta: ±15

l 大旋鈕滑臺X-Y方向精度: 1um

l 臺面上/下升降搖桿/旋鈕

l 顯微鏡傾仰裝置

六、附件

l 顯微鏡傾仰裝置

l 射頻測試探頭/電纜

l 有源探頭

l 低電流/電容測試

l 高壓測試

l 激光修復(fù)

l CCD/數(shù)字相機(jī)，USB接口

l 探針卡/封裝/PCB板夾具

l 加熱裝置

l 防震桌

l 屏蔽箱

l 顯微鏡暗場/Normarski 檢測