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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,電子/電池,道路/軌道/船舶 | 自動化度 | 全自動 |
| 鍍金真空吸附卡盤 | 對應可選6"產(chǎn)品 |
奕葉探針臺BD系列
一、顯微鏡操控規(guī)格:
l 在探針臺右側(cè)有大搖桿，提起90度后，可以使顯微鏡快速傾仰抬起，方便在測試時更換物鏡鏡頭。
l 顯微鏡后側(cè)有X/Y軸調(diào)節(jié)小搖輪，可調(diào)節(jié)顯微鏡在x-y方向的移動，移動范圍2"X2"，精度1μm。
l 顯微鏡Z軸帶有調(diào)焦粗旋鈕和細旋鈕，粗旋鈕方便快速調(diào)焦,細旋鈕方便調(diào)焦，使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm，移動精度1μm。
二、臺面規(guī)格:
l 探針臺臺面平整度：5μm
l 探針臺左側(cè)有搖杠可以控制臺面快速上下升降6mm。在探針臺加裝探針卡點測wafer時方便對die的重選擇
l 探針臺右上方有轉(zhuǎn)輪搖桿，搖動時可使臺面線性上下升降，升降范圍25mm，精度1μm。在探針臺加裝探針卡點測wafer時方便對die的復位
三、卡盤（載物臺，即圖中的chuck）規(guī)格:
l 6" 卡盤，卡盤平整度：5μm，采用真空吸附方式吸附，帶真空吸附孔，中心孔徑250μm-1mm（可根據(jù)客戶需求定制孔徑大?。?，小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm，能夠吸住尺寸為6"X6"
l 卡盤可360度旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào)，微調(diào)精度為0.1度，帶角度鎖定旋
l 卡盤X，Y軸調(diào)節(jié)旋鈕可以控制卡盤做X-Y方向的移動，移動范圍為6"X6"，移動精度為1μm，為方便點測的穩(wěn)定性，帶有鎖住功能。如果點測6"wafer的時候，可以6"wafer的每一點都能夠點測到
四、總體規(guī)格：
重量：50kg（含顯微鏡）
尺寸：590mm寬*500mm長*700mm高（含顯微鏡）
優(yōu)化的人體工學設計，便于工程師長時間舒適的操作
五、性能
l 鍍金真空吸附卡盤: 對應可選4" ，6"，8"，12"產(chǎn)品
l 大旋鈕移動卡盤臺，X-Y方向行程：6"-6"
l 卡盤快速拉出裝置便于放置/拿去樣品
l 線性無回差調(diào)節(jié)
l 臺面快速升/降行程：6mm，精調(diào)升/降行程：25mm
l 樣品尺寸: 5x5mm ~ 4" 6", 8", 12"
l 卡盤平整度: 10um
l 卡盤旋轉(zhuǎn)角度：0~360°
l Chuck Theta: ±15
l 大旋鈕滑臺X-Y方向精度: 1um
l 臺面上/下升降搖桿/旋鈕
l 顯微鏡傾仰裝置
六、附件
l 顯微鏡傾仰裝置
l 射頻測試探頭/電纜
l 有源探頭
l 低電流/電容測試
l 高壓測試
l 激光修復
l CCD/數(shù)字相機，USB接口
l 探針卡/封裝/PCB板夾具
l 加熱裝置
l 防震桌
l 屏蔽箱
l 顯微鏡暗場/Normarski 檢測
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