CG-196 高低溫奕葉探針臺(tái)
- 公司名稱 北京銳克天成科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) CG-196
- 產(chǎn)地 CG-196
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2022/3/1 10:55:22
- 訪問(wèn)次數(shù) 1446
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| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子 | 自動(dòng)化度 | 全自動(dòng) |
| 卡盤(pán)直徑 | 40mm |
高低溫探針臺(tái)
中國(guó)臺(tái)灣奕葉CG-196高低溫探針臺(tái)的探針座架設(shè)在真空腔體外側(cè)，在不破壞溫度及真空環(huán)境的情況下，隨著元件的冷縮熱膨，探針座可配合將探針做重復(fù)修改下針. 為消除來(lái)自于真空幫浦及地的震動(dòng)，內(nèi)置主動(dòng)氣浮式防震桌. 探針座少2 組多8 組，真空10exp-3 Torr 到10exp-6 Torr， 甚至提供腔體正壓到達(dá)10atm，超低溫達(dá)4度K ，超高溫達(dá)1200°C，除了DC直流pA應(yīng)用之外，RF射頻也能勝任到40GHz.適合感知器，航太及軍事 精密產(chǎn)品電特性分析。
在真空環(huán)境下，探針臺(tái)有兩種應(yīng)用：
一、超低溫情況下：
由于晶圓在超低溫情況下進(jìn)行探測(cè)，水氣將會(huì)出現(xiàn)并且將會(huì)凍結(jié)晶圓。水氣將會(huì)影響測(cè)量，導(dǎo)致測(cè)量失敗。真空倉(cāng)中的水氣將通過(guò)真空泵排出，真空泵必須具備長(zhǎng)時(shí)間測(cè)量的要求。
二、高溫情況下：
當(dāng)晶圓加熱超過(guò)300攝氏度， 400攝氏度， 500攝氏度或者更高溫度時(shí)，會(huì)發(fā)生很強(qiáng)烈的氧化。溫度越高，越加大硅片表面的氧化，氧化將使晶圓降低電學(xué)性，物理性和機(jī)械性。真空倉(cāng)中的氧氣通過(guò)真空泵來(lái)排出。真空泵必須能夠保持長(zhǎng)時(shí)間的測(cè)量要求。
由于卡盤(pán)將被熱量所控制，應(yīng)用于超低溫和高溫的環(huán)境，在晶圓上探針由于晶圓的收縮和膨脹，將需要一定的改變位置。因此，一些探針將需要通過(guò)真空倉(cāng)之外的探針座的三軸控制旋鈕重新定位。外部的機(jī)動(dòng)探針座可通過(guò)拉桿控制系統(tǒng)輕松地重新定位真空倉(cāng)中的探針。
三、特點(diǎn)：
三種溫度范圍可選擇：
77K—480K (-196℃—200℃)
77K—780K (-196℃—500℃)
77K—1080K (-196℃—800℃)所有框架采用焊接以堅(jiān)固的結(jié)構(gòu)
通過(guò)外置探針座來(lái)控制探針重新定位
橋型結(jié)構(gòu)顯微鏡以方便打開(kāi)真空倉(cāng)
顯微鏡可通過(guò)鏡臺(tái)控制地移動(dòng)，X-Y軸移動(dòng)范圍 1英寸—1英寸
可升級(jí)到6個(gè)探針座
雙屏蔽chuck高低溫時(shí)達(dá)到10pA精度
可選擇防震桌
可選擇高真空倉(cāng)
四、規(guī)格：
l 卡盤(pán)直徑40mm
l 溫度的精度為0.1度
l 液氮瓶50升
l 探針座X-Y-Z三軸移動(dòng)范圍：25mmx25mmx25mm，精度10微米
l 顯微鏡X-Y軸移動(dòng)范圍：1英寸x1英寸
l 連續(xù)變焦：0.8X—5X
l 目鏡：20X
l 總放大倍數(shù)：16X—100X
l 150W燈源箱
l 雙分支鵝頸管燈源
l 尺寸：1300mm長(zhǎng)x1100mm寬x1500mm高
重量：300Kg
五、操作說(shuō)明：
l 溫度控制單元：
當(dāng)需要溫度達(dá)到室溫以下時(shí)，卡盤(pán)需要通過(guò)液氮來(lái)降溫以達(dá)到溫度低于事先設(shè)置的溫度。比例積分微（PID）分控制器可以的控制溫度來(lái)加熱卡盤(pán)中的熱敏器件。
l 液氮單元
氮?dú)馐潜仨?/span>有的，通過(guò)氮?dú)饧訅赫婵掌縼?lái)推動(dòng)液氮的流出，液氮的容量可以通過(guò)氮?dú)獾膲簭?qiáng)、液氮的進(jìn)氣閥和出氣閥來(lái)控制。
l 真空倉(cāng)單元
真空倉(cāng)可通過(guò)真空泵產(chǎn)生10-3 托的壓強(qiáng)提供給超低溫的應(yīng)用；
BNC母接頭用來(lái)連接探測(cè)設(shè)備的信號(hào)裝置；
真空泵可提供排氣過(guò)濾作用，以避免污染客戶的環(huán)境；
l 探針座單元
所有探針座都在真空倉(cāng)外設(shè)置，這將幫助工程師在真空組織下進(jìn)行探測(cè)時(shí)不用排出真空倉(cāng)內(nèi)的氣體。特別是，當(dāng)溫度降低的時(shí)候，晶圓開(kāi)始收縮，探針已經(jīng)離開(kāi)需要探測(cè)的測(cè)試樣品，工程師需要重新設(shè)置探針，將探針扎到測(cè)試樣品上。
l 顯微鏡單元：
顯微鏡可以通過(guò)橋梁結(jié)構(gòu)移動(dòng)到旁邊，以方便打開(kāi)真空倉(cāng)的蓋子。顯微鏡可以通過(guò)真空倉(cāng)上面得窗口觀察，
燈光可以通過(guò)階梯式旋鈕控制亮度，雙分支鵝頸式光纖引導(dǎo)源可以用于定位及分離目標(biāo)。
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