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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>測量/計量儀器>表面測量儀器>輪廓儀>P7 晶圓探針式輪廓儀/臺階儀

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P7 晶圓探針式輪廓儀/臺階儀

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 上海納騰儀器有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 P7
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時間 2024/6/17 17:02:25
  • 訪問次數(shù) 4584
產(chǎn)品標(biāo)簽

探針式P7輪廓儀臺階儀晶圓

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上海納騰儀器有限公司是從事掃描探針顯微鏡(SPM)銷售的專業(yè)公司。公司作為俄羅斯NT-MDT在中國大陸及港、澳地區(qū)的經(jīng)銷商(RESELLER),在掃描探針顯微鏡(SPM)領(lǐng)域有多年的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn),擁有一支成熟的銷售、技術(shù)團(tuán)隊(duì),迄今已累計銷售超過100臺(套)儀器。



掃描探針顯微鏡光學(xué)顯微鏡納米光學(xué)輪廓儀教學(xué)型凝固點(diǎn)測定儀日本原裝桌面式隔振平臺

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 產(chǎn)品種類 接觸式輪廓儀/粗糙度儀
價格區(qū)間 面議 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,電子/電池,航空航天,汽車及零部件,綜合

傳感器具有動態(tài)力控制,良好的線性,和精準(zhǔn)的垂直分辨率等特性友好的用戶界面和自動化測量可以適配大學(xué)、研發(fā)、生產(chǎn)等不同應(yīng)用場景。

KLA是全球半導(dǎo)體在線檢測設(shè)備市場較大的供應(yīng)商,在半導(dǎo)體、數(shù)據(jù)存儲、 MEMS 、太陽能、光電子以及其他領(lǐng)域中有著不俗的市占率。P-7是KLA公司的第八代探針式臺階儀系統(tǒng),作為晶圓探針式輪廓儀/臺階儀歷經(jīng)技術(shù)積累和不斷迭代更新,集合眾多技術(shù)優(yōu)勢。

二、 功能

晶圓探針式輪廓儀/臺階儀設(shè)備特點(diǎn):  

臺階高度:幾納米至1000um  

微力恒力控制:0.03mg至50mg  

樣品全直徑掃描,無需圖像拼接  

視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像機(jī)  

圓弧矯正:消除由于探針的弧形運(yùn)動引起的誤差  

生產(chǎn)能力:通過測序,模式識別和SECS/GEM實(shí)現(xiàn)全自動化  

主要應(yīng)用:  

薄膜/厚膜臺階  

刻蝕深度測量  

光阻/光刻膠臺階  

柔性薄膜  

表面粗糙度/波紋度表征  

表面曲率和輪廓分析  

薄膜的2DStress量測  

表面結(jié)構(gòu)分析  

表面3D輪廓成像  

缺陷表征和分析  

其他多種表面分析功能

三、應(yīng)用案例

臺階高度

   P-7可以提供納米級到1000μm的2D和3D臺階高度的測量。 這使其能夠量化在蝕刻,濺射,SIMS,沉積,旋涂,CMP和其他工藝期間沉積或去除的材料。P-7具有恒力控制功能,無論臺階高度如何都可以動態(tài)調(diào)整并施加相同的微力。這保證了良好的測量穩(wěn)定性并且能夠測量諸如光刻膠的軟性材料。

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紋理:粗糙度和波紋度

   P-7提供2D和3D紋理測量并量化樣品的粗糙度和波紋度。軟件濾鏡功能將測量值分為粗糙度和波紋度部分,并計算諸如均方根(RMS)粗糙度之類的參數(shù)。

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紋理:粗糙度和波紋度

   P-7提供2D和3D紋理測量并量化樣品的粗糙度和波紋度。軟件濾鏡功能將測量值分為粗糙度和波紋度部分,并計算諸如均方根(RMS)粗糙度之類的參數(shù)。

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應(yīng)力:2D和3D薄膜應(yīng)力

   P-7能夠測量在生產(chǎn)包含多個工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件期間所產(chǎn)生的應(yīng)力。 使用應(yīng)力卡盤將樣品支撐在中性位置并精確測量樣品翹曲。然后通過應(yīng)用Stoney方程,利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計算應(yīng)力。2D應(yīng)力通過在直徑達(dá)200mm的樣品上通過單次掃描測量,無需圖像拼接。3D應(yīng)力的測量采用多個2D掃描,并結(jié)合θ平臺在掃描之間的旋轉(zhuǎn)對整個樣品表面進(jìn)行測量。

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缺陷復(fù)檢

   缺陷復(fù)查用于測量如劃痕深度之類的缺陷形貌。缺陷檢測設(shè)備找出缺陷并將其位置坐標(biāo)寫入KLARF文件。“缺陷復(fù)檢”功能讀取KLARF文件、對準(zhǔn)樣本,并允許用戶選擇缺陷進(jìn)行2D或3D測量。

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