性能優(yōu)勢：

   下照式設(shè)計：可以快速方便地定位對焦樣品。

   無損變焦檢測:可對各種異形凹槽進行無損檢測，凹槽深度范圍0-90mm。

   微聚焦射線裝置：可檢測面積小于0.002mm2的樣品，可測試各微小的部件。

   高效率的接收器：即使測試0.01mm2以下的樣品，幾秒鐘也能達到穩(wěn)定性。

   精密微型滑軌：快速精準(zhǔn)定位樣品。

   EFP*算法軟件：多層多元素，甚至有同種元素在不同層也難不倒EFP算法軟件。

儀器規(guī)格：

  外形尺寸 ：550 mm x 480mm x 470 mm （長x寬x高）

  樣品倉尺寸 ：500mm×360 mm ×215mm （長x寬x高）

  儀器重量 ：55kg

  供電電源 ：交流220±5V

  功率 ：330W

  環(huán)境溫度：15℃-30℃

  環(huán)境相對濕度：<70%>

技術(shù)參數(shù)：