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Bruker 全自動原子力顯微鏡 InSight AFP

具體成交價以合同協(xié)議為準

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上海爾迪儀器科技有限公司是一家代理經銷國內外儀器的專業(yè)公司。在制藥、化工、環(huán)保、科研、大學、醫(yī)學等領域開拓了廣泛的市場,并贏得了廣大用戶的支持和信賴。爾迪在今后的發(fā)展中,將貫徹誠信、服務、務實、創(chuàng)新的經營理念,一如既往地把國內外優(yōu)秀的儀器設備介紹并提供給國內的用戶。孜孜追求,不懈努力,不斷提高服務水平,為提升用戶的檢測水平和科研水平貢獻各自的綿薄之力,與廣大用戶共同享受科技成果,在互利協(xié)作中共同進步。

 

 

 

 

 

YAMATO,bruker,Diener,Kashiyama

產地類別 進口 應用領域 化工
類型 全自動原子力顯微鏡

bruker 全自動原子力顯微鏡 InSight AFP

——第五代AFP具有業(yè)界高的分辨率、快的成型速度和快速的3D模具映射

InSight AFP是世上性能*高、行業(yè)s選的先進技術節(jié)點CMP輪廓和蝕刻深度計量系統(tǒng)。將其現(xiàn)代尖--端掃描儀與固有的穩(wěn)定電容式壓力計和精確的空氣軸承定位系統(tǒng)相結合,可以在模具的活動區(qū)域進行非破壞性的直接測量。


·0.3納米長期穩(wěn)定
提供NIST可追蹤的參考計量,并在一年內保持測量的穩(wěn)定性

·260-340個站點/小時
內聯(lián)應用程序的*高生產效率
減少MAM時間和優(yōu)化的晶圓處理可保持高達50個晶圓/小時的吞吐量

·高達36000微米/秒
仿形速度
通過熱點識別提供高分辨率3D特征

·*高分辨率,尖--端壽命長
InSight AFP的TrueSense®技術,具有原子力分析器經驗證的長掃描能力。亞微米特征的蝕刻深度、凹陷和侵蝕可以*自動化地監(jiān)控,具有可重復性,無需依賴測試鍵或模型。

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蝕刻和CMP晶片的全自動在線過程控制

Insight AFP結合了原子力顯微鏡的新創(chuàng)新,包括Bruker的專有CDMode,用于表征側壁特征和粗糙度。CDmode減少了所需的橫截面數(shù)量,實現(xiàn)了顯著的成本節(jié)約。此外,AFP數(shù)據(jù)提供了無法通過其他技術獲得的直接側壁粗糙度測量。

Bruker 全自動原子力顯微鏡 InSight AFP

自動缺陷審查和分類

當今領--先集成電路的器件缺陷比以往任何時候都小,需要快速解決HVM需求。InSight AFP提供了有關半導體晶片和PHTOmask缺陷的快速、可操作的地形和材料信息,使制造商能夠快速識別缺陷源并消除其對生產的影響。


100倍高分辨率配準光學元件和AFM全局對準可使圖案化晶圓和掩模的原始圖像放置精度低于±250 nm,確保感興趣的缺陷是測量的缺陷。該系統(tǒng)與KLARITY和大多數(shù)其他YMS系統(tǒng)*兼容。

Bruker 全自動原子力顯微鏡 InSight AFP

3D模具映射和HyperMap™

分析速度高達36000µm/sec,能夠對33mm x 26mm及更大的閃光場進行快速、完整的3D CMP后表征和檢查。超2納米的平面外運動,實現(xiàn)真正的大規(guī)模地形和全自動拋光后熱點檢測。


在本例中,在24小時內以1微米x 1微米像素大小獲得了完整的標準26毫米x 33毫米十字線場掃描。然后可以使用Bruker的熱點檢測和審查功能自動檢測和重新掃描熱點。

bruker 全自動原子力顯微鏡 InSight AFP




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