12英寸全自動(dòng)射頻探針臺(tái)產(chǎn)品特點(diǎn)：

1.專(zhuān)為多種晶圓測(cè)試應(yīng)用而設(shè)計(jì)

●模塊量測(cè)-DC-IV,DC-CV,Pulse-IV，ESD,1/f。

●射頻、毫米波、射頻頻率可設(shè)置可從26GHz到110GHz或更高。

●晶圓級(jí)可靠性-用于精確的壓力和測(cè)量條件。

●lin先的測(cè)試執(zhí)行軟件套裝的驅(qū)動(dòng)程序。

2.WaferWalletTM操作平臺(tái)

●設(shè)計(jì)有五個(gè)單獨(dú)的托盤(pán)，可按人體工學(xué)方式手動(dòng)裝載150、200或300毫米的“模型”晶圓。

●在多個(gè)溫度條件下全自動(dòng)測(cè)試可多達(dá)五個(gè)相同的晶圓。

●有在任何溫度下裝載/卸載晶片的*能力。

3.ShielDEnvironment™屏蔽環(huán)境

●專(zhuān)為EMI/RFI/Light-tight屏蔽所設(shè)計(jì)的精密量測(cè)環(huán)境，以得到最佳的1/f超低噪測(cè)試結(jié)果。

●支援fA ji超低噪IV量測(cè)。

●可編程的顯微鏡滑臺(tái)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化之簡(jiǎn)便操作。

●具配置彈性的溫度可量測(cè)范圍-60°C至300°C。

4.工效學(xué)設(shè)計(jì)及彈性選配

●從正面輕松放置晶片或單個(gè)DUT。

●內(nèi)建防震系統(tǒng)。

●完整的硬件操控整合，方便更快速安全的量測(cè)操作。

●安全測(cè)試管理系統(tǒng)(Safety Test Management,STM™)選配具自動(dòng)進(jìn)行露點(diǎn)控制功能。

●預(yù)留制冷機(jī)組空間，節(jié)省空間不占位。

●儀器架選配，可縮短射頻電纜之架設(shè)長(zhǎng)度，提供最高的量測(cè)機(jī)能。

12英寸全自動(dòng)射頻探針臺(tái)設(shè)備簡(jiǎn)介：

TS3500和TS3500-SE在功能上與MPI著名的已建立的TS3000和TS3000-SE 300毫米探針臺(tái)具有相同的功能，通過(guò)配置或升級(jí)MPI*的WaferWallet™，可以實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)功能。MPI的解決方案通過(guò)提供比其他供應(yīng)商的半自動(dòng)化產(chǎn)品更少的*自動(dòng)化功能，降低了客戶(hù)的總體測(cè)試成本。