美國(guó)粒子監(jiān)測(cè)系統(tǒng)公司（PMS）推出的Ultra DI® 20液體粒子計(jì)數(shù)器，專為超純水系統(tǒng)而設(shè)計(jì)，可快速獲得有統(tǒng)計(jì)意義的數(shù)據(jù)，并對(duì)小至20納米的污染物進(jìn)行計(jì)數(shù)和尺寸測(cè)定。即便儀器移動(dòng)，也能達(dá)到數(shù)據(jù)一致性，有助于您獲得更多統(tǒng)計(jì)信息以實(shí)現(xiàn)更好的過程控制。Ultra DI 20液體粒子計(jì)數(shù)器實(shí)現(xiàn)了低零計(jì)數(shù)、大采樣量、高計(jì)數(shù)效率，可提供粒子對(duì)標(biāo)檢測(cè)。最小可監(jiān)測(cè)20納米聚苯乙烯乳膠（PSL）和9納米金（Au），更高靈敏度可以更快監(jiān)測(cè)出制程變化。

UDI-20是PMS推出的具有良好靈敏度的產(chǎn)品之一，這意味著市場(chǎng)上找不到比這更靈敏的產(chǎn)品，而只有PMS能提供多種產(chǎn)品系列以滿足不同的監(jiān)測(cè)需求。目前，在超純水、化學(xué)品和空氣分子污染物監(jiān)測(cè)方面，PMS產(chǎn)品均表現(xiàn)出良好的的監(jiān)測(cè)性能、靈敏度和可靠性。PMS以知識(shí)、技術(shù)和服務(wù)，為高科技企業(yè)和化學(xué)制造公司提供良好的工具，使其能夠基于數(shù)據(jù)做出精準(zhǔn)決策，提高業(yè)績(jī)和產(chǎn)量。

特點(diǎn)

• 良好的激光光學(xué)技術(shù)和傳感器能夠檢測(cè)到小至20納米的粒子（9納米金）

• 在18至29°C的操作環(huán)境下通過對(duì)粒子進(jìn)行熱穩(wěn)定測(cè)量，以實(shí)現(xiàn)不同儀器間數(shù)據(jù)穩(wěn)定性和匹配度

• 每毫升<10個(gè)粒子的濃度下，儀器間匹配度在20%以內(nèi)

• 可與全球各地任何環(huán)境條件下多個(gè)晶圓廠的超純水系統(tǒng)性能媲美

• 集群管理器可互換，不會(huì)出現(xiàn)中斷或產(chǎn)生數(shù)據(jù)問題

• 兩種計(jì)數(shù)模式：1）高分辨率——用于高純凈環(huán)境；2）高濃度——用于過濾器挑戰(zhàn)測(cè)試和低純凈環(huán)境

• 通過4-20mA直接連接至可編程控制器（PLC）和監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)采集（SCADA）系統(tǒng)，并通過以太網(wǎng)通信來利用現(xiàn)有網(wǎng)絡(luò)

• 粒子計(jì)數(shù)器數(shù)據(jù)本地顯示

• 該粒子計(jì)數(shù)器擁有更大樣品量和超低的零計(jì)數(shù)，從而能獲取更多相關(guān)統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)來實(shí)現(xiàn)更小的誤差偏離

• 通過以太網(wǎng)通信來利用現(xiàn)有網(wǎng)絡(luò)

• 通過4-20mA直接連接至可編程控制器（PLC）和監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)采集（SCADA）系統(tǒng)

• 與臭氧水兼容

• 采用不銹鋼外殼和雙HEPA-級(jí)過濾，供潔凈環(huán)境下使用

優(yōu)勢(shì)

• 全新設(shè)計(jì)省去了環(huán)境保護(hù)柜的額外購(gòu)買價(jià)格和維護(hù)成本

• 通過實(shí)時(shí)粒子測(cè)量，對(duì)污染作出即時(shí)反應(yīng)

• 快速獲得有意義的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，以檢測(cè)粒子的誤差偏離，并排除問題

• 快速清理樣品，縮短了從一個(gè)采樣點(diǎn)轉(zhuǎn)移到另一個(gè)采樣點(diǎn)的時(shí)間

• 采用更短采樣間隔，加快分析時(shí)間

• FacilityNet軟件提供更復(fù)雜的過程控制

• 通過降低樣品間差異來實(shí)現(xiàn)更嚴(yán)格的過程控制限值設(shè)定

應(yīng)用場(chǎng)景

• 對(duì)超純水（UPW）系統(tǒng)中的粒子濃度進(jìn)行量化

• 過濾器效率測(cè)定

• 在更低粒子濃度下進(jìn)行趨勢(shì)分析

• 檢測(cè)超純水系統(tǒng)中的細(xì)菌生長(zhǎng)情況

• 偶發(fā)事件的跟蹤和報(bào)警

• 對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行連續(xù)的粒子監(jiān)測(cè)

• 制造流程控制

   

使用的具體步驟：  

1.被檢測(cè)的過濾器必須已經(jīng)經(jīng)過風(fēng)量的測(cè)試，在設(shè)計(jì)風(fēng)速的80%-120%之間運(yùn)行。  

2.被檢測(cè)的高效過濾器上風(fēng)側(cè)一定要確定大氣塵的微粒數(shù)，以大于或等于0.5mm微粒為標(biāo)準(zhǔn)，其濃度必須大于或等于3.5×10^4粒/L。  

3.如果檢測(cè)的是超高效過濾器的話，則以大于或等于0.1mm微粒為準(zhǔn)，其濃度必須大于或等于3.5×10^6-3.5×10^7粒/L。  

4.如果過濾器的上風(fēng)側(cè)濃度不符合以上規(guī)定的話，則應(yīng)該引入不經(jīng)過濾的空氣；如果經(jīng)過測(cè)試還不能達(dá)到規(guī)定的話，則不宜使用粒子計(jì)數(shù)器法進(jìn)行檢測(cè)。  

5.檢漏的時(shí)候要注意將采樣口放在距離被檢測(cè)過濾器表面的2-3CM處，并且以5-20MM/S的速度移動(dòng)。  

6.不要忘記對(duì)被檢測(cè)過濾器的整個(gè)斷面、封頭膠和安裝框架處進(jìn)行多方面的掃描。