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VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀

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上海添時科學(xué)儀器有限公司是一家代理國內(nèi)外儀器的經(jīng)銷及技術(shù)服務(wù)的專業(yè)公司。國內(nèi)管式爐,退火爐,氣氛爐,真空感應(yīng)熔煉爐,箱式爐,手套箱,研磨拋光機(jī),電池測試恒溫箱,金剛石線切割機(jī),磁控濺射儀,蒸發(fā)鍍膜,PECVD設(shè)備供應(yīng)商!

公司所涉及的產(chǎn)品遍布大專院校、科研單位、工廠企業(yè)、商檢、農(nóng)業(yè)、食品、超市、治金礦山、建筑、石油、路橋等行業(yè)。

主要產(chǎn)品:生命科學(xué)儀器,化學(xué)分析儀器,光學(xué)儀器,物性測試儀器及設(shè)備,環(huán)保設(shè)備/流量儀表,行業(yè)專用儀器,藥物檢測儀器,種子儀器,農(nóng)業(yè)和食品儀器,石油儀器,煤炭儀器,測繪儀表,建筑儀器,公路儀器,地質(zhì)儀器,電工儀器儀表,自動化儀表,氣象儀器,環(huán)保儀器,電教器材,無線電儀器,小型機(jī)械等。并且提供與生物技術(shù)相關(guān)的實(shí)驗(yàn)室科研儀器設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室耗材與試劑、實(shí)驗(yàn)室設(shè)計、規(guī)劃、改建等服務(wù)。公司以“高品質(zhì),高服務(wù),高信譽(yù)”贏得各地市場,各個領(lǐng)域的好評和歡迎。

未來,公司將引進(jìn)和代理更多國內(nèi)產(chǎn)品,并將研發(fā)自有品牌的產(chǎn)品以滿足市場不同的需求,以更高質(zhì)量的產(chǎn)品,更高質(zhì)量的服務(wù),更高效率的運(yùn)營,樸素而先進(jìn)的管理理念,為客戶提供更優(yōu)良的產(chǎn)品和服務(wù)!

公司宗旨:客戶至上 誠信為本 開拓創(chuàng)新 成就*




紫外可見分光光度計,原子熒光光度計,原子吸收分光光度計,紫外分光光度計,氣相色譜儀,液相色譜儀,電子天平,旋光儀,熔點(diǎn)儀

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,石油,電子,電氣,綜合

VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子薄膜濺射儀(直流普通型),控制面板采用觸摸屏模式,基片極限尺寸為2″,放置樣品的直徑為?50mm,加熱溫度達(dá)500℃。VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀可濺射金、銀、銅三種靶材,不可以濺射輕金屬和碳。本機(jī)采用旋轉(zhuǎn)式樣品臺,能夠依次在同一樣品上涂覆三層薄膜,適用于實(shí)驗(yàn)室制備復(fù)膜的樣品。VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀采用PLC控制面板對設(shè)備進(jìn)行控制,操作方便直觀。該機(jī)設(shè)備小巧,占用實(shí)驗(yàn)室空間少,操作簡單,應(yīng)用廣泛。因此被廣泛應(yīng)用于各大高校及科研院所的實(shí)驗(yàn)室中。1、PLC控制面板,4.3″觸摸屏,PID控溫方式。
2、可控參數(shù)包括真空度、電流、靶材位置、基片加熱溫度。
3、可與真空泵、不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍連用。
4、已通過CE認(rèn)證。

產(chǎn)品名稱VTC-16-3HD  3靶等離子濺射儀
產(chǎn)品型號
VTC-16-3HD
安裝條件本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:不需要
2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地
3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(帶減壓閥)
4、工作臺:尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50kg以上
5、通風(fēng)裝置:不需要
主要參數(shù)
1、輸入功率:110V/220V通用   2000W(含真空泵)
2、輸出功率:1600VDC  50mA(最大電流)

3、石英罩:?160mm×120mm

4、樣品臺:?50mm(可選購加熱型樣品臺,最高溫度可到500℃;最長濺射時間不可超過5min)

5、真空泵:120L/M旋片式真空泵
6、進(jìn)氣口:裝有精密可調(diào)針閥,以實(shí)現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進(jìn)氣量

7、靶材:尺寸直徑?47mm,厚度0.1mm-3mm;可濺射Au、Ag、Pt、Cr、Ni,

 不可濺射氧化物、半導(dǎo)體、一些輕金屬、Al、Zn、C等

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:360mm×350mm×3600mm;
重量:50kg

可選配件1、KF25真空接口、卡箍
2、不銹鋼波紋管(600mm)
3、旋片式真空泵(120L/M)
4、鉑、銀、鋅等各種高純度金屬靶材
5、加熱型樣品臺




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