FPTOR-ICPRIE 感應耦合反應離子刻蝕系統(tǒng),ICP-RIE蝕刻系統(tǒng)
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- 公司名稱 孚光精儀(中國)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 FPTOR-ICPRIE
- 產地 www.felles.cn/keshi.html
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2022/10/19 17:42:25
- 訪問次數 559
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感應耦合反應離子刻蝕系統(tǒng)ICPRIE由射頻電源感應產生等離子體,以產生各向異性蝕刻。在基本ICP-RIE蝕刻系統(tǒng)中,射頻直接連接到用作電極的樣品臺,產生各向同性等離子體。ICPRIE刻蝕系統(tǒng)有時被稱為桶型蝕刻機。
最初的ICP反應器由石英管組成,射頻線圈纏繞在石英管周圍,以產生等離子體,從而產生各向異性蝕刻。感應耦合反應離子刻蝕系統(tǒng)ICPRIE有多種類型,其中一種重要類型是將電容耦合偏壓與樣品臺相結合,以實現(xiàn)電感耦合RF等離子體蝕刻特性的工藝控制。應用包括電介質材料的干蝕刻。
感應耦合反應離子刻蝕系統(tǒng)ICPRIE詳情請聯(lián)系我們索取。
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